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2024年9月17日
株式会社東陽テクニカ

比抵抗／ホール測定システム「M91 FastHall™ Station」の
温度特性の評価範囲が拡大
幅広い温度対応で半導体材料の高速ホール測定を実現し業務効率化に貢献

株式会社東陽テクニカ(本社：東京都中央区、代表取締役社長：高野 俊也(こうの としや)、以下 東陽テクニカ)は、国内で販売している米国Lake Shore Cryotronics, Inc.(以下 Lake Shore(レイク・ショア)社)製の比抵抗／ホール測定システム「M91 FastHall™ Station(ファストホール・ステーション)」について、このたび対応可能な温度特性の評価範囲が拡大されたことをお知らせいたします。

「M91 FastHall™ Station」は、Lake Shore社の特許技術を利用し、半導体の材料評価の一つである比抵抗／ホール効果測定を、高速・高精度で実施できるシステムです。このたび幅広い温度特性の評価範囲に対応できるようになったことで、生産工程においてより効率的な品質管理に貢献できるようになりました。

尚、本製品を9月16日(月)から行われている「第85回応用物理学会」にて国内で初めて発表します。

背景／概要

半導体や電子材料は、パワーデバイス、太陽電池、熱電材料、新規ディスプレイ材料、有機材料などさまざまな用途に向けて開発されています。近年の半導体需要の増加により、半導体の生産工程において、より幅広い材料をより速く計測することで、生産の効率化が求められています。

東陽テクニカでは、この半導体の生産工程における計測システムとして、Lake Shore社の特許技術FastHall™測定技術を搭載した「M91 FastHall™ Station」を提供しています。コンパクト・省スペースでありながら、磁場反転を必要としないため従来の比抵抗／ホール測定システムに比べ高速測定が可能です。このたび低温(78K)から高温(500K)まで対応できるようになったことで、ウエハーなど半導体材料の生産ラインにおける品質検査の効率化が可能となりました。また、基礎研究分野でも室温測定のみでは見えてこない特性、キャリア濃度の変化から活性化エネルギー、移動度が急変する結晶構造の転移点の見極めなど、温度を変化させながら測定して初めて得られる情報を測定することが可能になります。

東陽テクニカは、「M91 FastHall™ Station」の提供を通して、今後も半導体材料の生産工程の品質向上および効率化に貢献してまいります。

主な特長

• FastHall™測定技術を活用、高速・高精度な計測で高利便性を提供
  Lake Shore社が保有する米国特許技術(米国特許番号：9797965、10073151)を活用、磁場反転をしない測定方法で、高速かつ高精度な計測が可能
• 温度特性評価範囲
  低温(78K)～高温(500K)対応
• 新規半導体材料に最適
  パワーデバイス材料、太陽電池材料、熱電子素子など新規半導体材料の測定に最適
• MeasureLINK-MCSソフトウェア搭載
  プログラミングなしで比抵抗／ホール測定が可能、スクリプト機能でカスタマイズも可能

出展概要

開催展名　

「第85回応用物理学会」

会期　　　

2024年9月16日(月)～20日(金) 10:00～17:00

場所　　　

朱鷺メッセ　新潟コンベンションセンター

公式サイト

https://meeting.jsap.or.jp/

※本ニュースリリースに記載されている内容は、発表日現在の情報です。製品情報、サービス内容、お問い合わせ先など、予告なく変更する可能性がありますので、あらかじめご了承ください。

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