「SEMICON Japan 」
開催時間
2025年12月17日（水）～19日（金） 10:00～17:00
- ●場所
-
東京ビッグサイト 西展示棟ホール 小間番号：W1663
本展では、「振動計測」、「モーダル解析」をテーマに、ナノスケールに対応した最先端の"はかる”技術をご紹介いたします。
1. 振動計測
半導体製造の各工程において、装置の挙動を把握することが求められています。また、微細化が進む中、装置またはウェーハでの変位や振動を計測する必要性は増しています。そのような要求に応えるため、PCB Piezotronics社が提供する加速度センサは、高精度かつ高分解能での検出が可能で、多くの半導体製造装置で活用されています。センシングだけでなく、その計測および解析・モニタリングにも力を入れており、これらの機器を展示しています。2. 形態、結晶方位、結晶構造、歪といった材料特性のナノスケール・マルチモーダル解析
デバイスの電気的性能は、デバイス各層の結晶相の種類と分布、または局所的な歪に依存するため、これらの物理分析はプロセス開発、歩留り向上に重要にです。4D-STEM法（4次元走査透過電子顕微鏡法）を用いることでこれら解析が可能になりますが、セットアップの複雑さや、電子ビームのプリセッション、ブランキング、検出器の信号読出しとの同期、ソフトウェア間のデータ移動の制約によるデータ解析の遅延等、複数のコンポーネントによって構成されることに起因する課題によって、従来機では容易に実施することが出来ませんでした。今回提案するTESCAN社の4D-STEMシステム、モデル名TENSORは、リアルタイムデータ処理に必要なすべてのハードウェアと最適化アルゴリズムを完全に統合しており、最小限の設定と操作で4D-STEMデータセットを迅速に取得できる世界初の専用4D-STEMシステムです。概要
展示会名：SEMICON Japan会期：2025年12月17日（水）～19日（金） 10：00～17：00
会場：東京ビッグサイト 西展示棟
小間番号：W1663
出展予定製品
354A12型 加速度センサ
超高感度・低周波応答を持つPCB Piezotronics社製加速度センサです。 10,000ｍV/Gの感度を有し、装置またはウェーハでの微小な振動を逃しません。また、0.06Hz（±3dB）の低周波にも対応。床振動評価にもご活用いただけます。
予知保全・状態監視用振動計測システム
高精度な圧電型振動センサを軸に、トランスミッタやPLC、モニタリングソフトまでを含めたトータルシステムを提供します。センサは、汎用タイプだけでなく、高温タイプ、4-20mA出力タイプや防爆対応タイプといった様々なラインアップをご用意しております。設備への取り付けに最適な振動センサをご提案します。
ワイヤレス振動計測システム
超低消費電力かつ非常にコンパクトな形状のセンサと、エッジコンピューティングが可能なゲートウェイ、そしてユーザーフレンドリーな解析ソフトから構成される業界でも類を見ない画期的なシステムです。専用のルーター経由でPCのブラウザから、振動データやFFTの結果をリアルタイムに見ることが可能です。配線を心配することなく、簡単に取り付けて、設備のモニタリングができます。
リアルタイム4D-STEMシステム：TENSOR
TENSOR はSTEMの各ピクセルに対応する回折図形とEDS スペクトルを電子ビームの走査に高速かつ完全に同期して取得します。電子ビームとの相互作用において得られた回折図形やX 線スペクトル等の情報から、幅広い材料特性を導き出すことができます。回折イメージング、EDS 、電子線プリセッション、ビームブランキングおよび取得したデータのリアルタイム分析と処理が、ビーム走査と超高速かつ正確に同期される等、高い能力を有しています。
※展示製品は予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。