「第3回［九州］半導体産業展」
開催時間
2026年9月30日（水）～10月1日（木） 10:00-17:00
- ●場所
-
マリンメッセ福岡 A館 小間番号：A3-61
本展示会では振動計測による歩留まり改善をご提案いたします。
振動計測は真空ポンプやコンプレッサなど装置の予兆保全に役立ってきました。 近年の数ナノレベル精度の加工において、振動はステージの位置ずれやフォーカス変動などに影響し歩留まり低下の要因となっており、振動計測の重要性が高まっています。
予兆保全や状態監視に活用できる高精度な振動センサ、ステージや床の微細な振動を検出できる超高感度加速度センサなどを展示します。
概要
展示会名：［九州］半導体産業展会期：2026年9月30日（水）～10月1日（木） 10：00～17：00
会場：マリンメッセ福岡 A館
小間番号：A3-61
出展予定製品
予兆保全向け振動センサ
回転機械の予兆保全や状態監視に活用できる高精度な振動センサです。高・低温対応タイプ、4-20mA出力タイプや防爆対応タイプといった様々なラインアップをご用意しております。設備への取り付けに最適な振動センサをご提案します。
ワイヤレスセンサシステム
回転機械の予兆保全や状態監視に活用できるワイヤレスセンサシステムです。超低消費電力かつ非常にコンパクトな形状の振動センサと、エッジコンピューティングが可能なゲートウェイ、そしてユーザーフレンドリーな解析ソフトから構成されています。ワイヤレスセンサを対象物に取り付けるだけで設備の見える化が実現できます。
床振動/暗振動向け超高感度加速度計
超高感度・低周波応答を持つ加速度センサです。 10,000ｍV/Gの感度を有し、装置またはウェーハでの微小な振動を逃しません。また、0.06Hz（±3dB）の低周波にも対応。床振動評価にもご活用いただけます。
設備振動解析システム
設備の振動を解析するためのハードウェアです。データ収録機、振動センサ、解析ソフトの構成となっています。設備に発生する振動を詳細に解析することができ、故障個所の推定などに加え、生産設備改良による歩留まり改善にも役立てることが可能です。
※展示製品は予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。