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  1. 東陽テクニカ
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    Xe プラズマ FIB-SEMシステム AMBER X 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム AMBER X 2

    新製品

    TESCAN社の最新鋭AMBER X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    パワー半導体やリチウムイオン電池、ソフトマテリアル、磁気材料など多種多様な素材に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、ToF-SIMS、ラマンといったマルチモーダルイメージングをフィールドフリーかつ高い空間分解能で実現しました。

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    Xe プラズマ FIB-SEMシステム SOLARIS X 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム SOLARIS X 2

    新製品

    TESCAN社の最新鋭SOLARIS X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと、イマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    TSV(シリコン貫通電極)、MEMS、はんだバンプ、Cu ピラー、BGA の全体構造といった広いスケールの構造をもつ材料や深く埋もれた構造をもつ材料に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、クラス最高の低加速SEM観察能力により高い精度での物理解析が実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

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    Ga FIB-SEMシステム AMBER

    TESCAN GROUP, a.s.

    Ga FIB-SEMシステム AMBER

    新製品

    TESCAN社の最新鋭AMBERは、高い加工位置精度を有するGa FIBとフィールドフリー超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    電池材料、磁性材料、ソフトマテリアルなど多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

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    Ga FIB-SEMシステム SOLARIS

    TESCAN GROUP, a.s.

    Ga FIB-SEMシステム SOLARIS

    新製品

    TESCAN社の最新鋭SOLARISは、高い加工位置精度を有するGa FIBとイマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現できるだけでなく、正確な終点検出を必要とするデバイス故障解析に最適です。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

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    走査透過電子顕微鏡 TENSOR

    TESCAN GROUP, a.s.

    走査透過電子顕微鏡 TENSOR

    新製品

    各ピクセルでの電子線回折図形を高速で記録可能な4D-STEM 計測に特化

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    SKP 走査型ケルビンプローブシステム

    BioLogic Science Instruments SAS(バイオロジック / フランス)

    SKP 走査型ケルビンプローブシステム

    SKP(走査型ケルビンプローブ法)は、サンプルとタングステンプローブ間の仕事関数差を測定し、サンプル表面の表面電位をマッピングします。大気中で測定するため、測定環境が安定、再現性の良い測定を実現します。

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    焦電体評価/熱刺激電流測定システム

    東陽テクニカ(半導体物性評価)

    焦電体評価/熱刺激電流測定システム

    焦電体評価/熱刺激電流測定(TSC)システムは、システムノイズを±5×10-13A以下まで抑える事により、高感度で焦電電流やTSCを測定する事を可能にします。 ポーリング電圧は最大± 1kV まで、制御温度は100K~473K(200℃)範囲で設定する事が出来ます。クライオスタットは、サンプル表面の温度ムラを極力なくすような構造になっており、TSC/焦電電流の測定に最適です。

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    電界放出形走査電子顕微鏡 MAGNA

    TESCAN GROUP, a.s.

    電界放出形走査電子顕微鏡 MAGNA

    TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
    エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

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    自動鉱物粒子解析SEM TIMA

    TESCAN GROUP, a.s.

    自動鉱物粒子解析SEM TIMA

    TESCAN社TIMAは、MLAとも呼ばれる自動鉱物粒子解析に特化した最新鋭の走査電子顕微鏡です。最大4つのEDS検出器が装着可能で、その同時取得により高速分析が実現します。ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用しているため、微細な鉱物粒子の識別が高い空間分解能で可能です。専用の自動ソフトウエアにより、SEM観察とEDS分析が無人でできるだけでなく、粒子の分離や鉱物種の同定も自動で行うことができます。
    選鉱における鉱物試験として非常に有効なツールであるだけでなく、岩石の微細組織解析に代表される地球科学分野の研究や、考古遺物や文化財の鉱物学的研究にも高い能力を発揮します。

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    X線マイクロCTシステム UniTOM HR

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム UniTOM HR

    新製品

    TESCAN社最新鋭のUniTOM HRは、サブミクロンレベルの空間分解能と秒レベルの時間分解能の双方を1台で実現した、世界で唯一のラボ用ダイナミックX線マイクロCTシステムです。多用途性も優れており、さまざまな分野の材料研究・材料エンジニアリング、故障解析・品質保証に用いることができます。

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    X線マイクロCTシステム UniTOM XL

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム UniTOM XL

    TESCAN社最新鋭のUniTOM XLは、さまざまな試料・アプリケーションに柔軟に対応できる高速・マルチスケールX線マイクロCTシステムです。

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    X線マイクロCTシステム CoreTOM

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム CoreTOM

    TESCAN社最新鋭のCoreTOMは、医療用CTの測定視野の広さとラボ用X線マイクロCTの空間分解能の双方を1台で両立したX線マイクロCTシステムです。
    地質調査で採取されるコアサンプルから細孔・粒子レベルのイメージングまで、幅広いスケールに対応します。

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    X線マイクロCTシステム DynaTOM

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム DynaTOM

    TESCAN社最新鋭のDynaTOMは、タイムラプス実験・その場観察に特化した、世界で初めて・世界で唯一のラボ用X線マイクロCTシステムです。
    放射光施設でしか実現できなかった4Dトモグラフィー実験が、ラボベースで可能になります。

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    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置

    KLA Corporation

    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置

    iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

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    iNano 高分解能 薄膜機械的特性評価装置

    KLA Corporation

    iNano 高分解能 薄膜機械的特性評価装置

    iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。

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    G200X ハイエンド 薄膜機械的特性評価装置

    KLA Corporation

    G200X ハイエンド 薄膜機械的特性評価装置

    G200X ハイエンド薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

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    Nano Indenter G200

    KLA Corporation

    Nano Indenter G200

    Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。高速インデンテーションを用いた硬さ・ヤング率の2次元定量イメージングにも対応します。

    後継機種G200Xはこちらから

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    OSP 非接触表面プロファイラ

    BioLogic Science Instruments SAS(バイオロジック / フランス)

    OSP 非接触表面プロファイラ

    OSP(非接触表面プロファイラ)は、非接触レーザー変位センサを利用して、表面プロファイルを高速かつ高精度に測定します。 測定した表面プロファイルを、他5種類の測定テクニックに利用し、サンプル-プローブ間を一定にして測定できます。

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    MTZ-35 35MHz インピーダンスアナライザ

    BioLogic Science Instruments SAS(バイオロジック / フランス)

    MTZ-35 35MHz インピーダンスアナライザ

    MTZ-35は、周波数範囲 10μHz~35MHz のインピーダンスアナライザです。セラミックスなどの誘電体材料のインピーダンス測定において周波数、DCバイアス電圧、AC電圧信号、温度の依存性を測定することは材料の特性を理解する上で重要な指標になります。

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    EL-CORR-1 / EL-CORR-2 腐食セルキット

    BioLogic Science Instruments SAS(バイオロジック / フランス)

    EL-CORR-1 / EL-CORR-2 腐食セルキット

    EL-CORR-1は、腐食試験を行うためのセルです。容量が1リットルと大きく、長時間測定の際に溶液の汚染を軽減できます。EL-CORR-2は、ダブルジャケット構造のため、冷却水/温水を循環させて恒温測定を行うことができます。

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