Bio-Logic Sciences Instruments(バイオロジック / フランス)

OSP 非接触表面プロファイラ

OSP(非接触表面プロファイラ)は、非接触レーザー変位センサを利用して、表面プロファイルを高速かつ高精度に測定します。 測定した表面プロファイルを、他5種類の測定テクニックに利用し、サンプル-プローブ間を一定にして測定できます。

株式会社東陽テクニカ 理化学計測部
phone03-3245-1103
Mail:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

測定パラメータ:
プローブとサンプル間距離
サンプル雰囲気:
気相
測定原理:
レーザー変位計によりサンプルの表面凹凸を測定
特長・用途:
サンプル凹凸測定
他の測定テクニックに距離情報を転用可
測定空間分解能:
50μm

ギャラリー

図1. 電気化学センサ表面の
非接触表面プロファイル
(Oncoprobe社サンプル提供)

図2. 集積回路基盤の非接触
表面プロファイル(OSP370)

図3. 図2と同じ回路のSECM
エリアスキャン(SECM370)