TESCAN GROUP, a.s.の製品一覧

TESCAN社のあるチェコ共和国ブルノ市は電子顕微鏡の発祥地として名を馳せています。1940年代に世界初の電子顕微鏡がこの地から生まれ、TESCAN社の前身であるTesla Brno社によって製造が開始されました。約40年に渡り3000台以上のTEM(透過型電子顕微鏡)とSEM(走査型電子顕微鏡)が製造され、東ヨーロッパを中心に研究開発に活用されてきました。
TESCAN社は1991年にTesla Brno社の一部のメンバーによって設立、世界各国へ電子顕微鏡の販売を開始し、SEMおよびFIBの世界的サプライヤーへと成長しています。現在では80カ国以上に納入実績があります。最近ではアジア各国への納入台数が増えており、材料開発や半導体といった世界トップレベルの研究を支えています。

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム AMBER X 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム AMBER X 2

    TESCAN社の最新鋭AMBER X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    パワー半導体やリチウムイオン電池、ソフトマテリアル、磁気材料など多種多様な素材に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、ToF-SIMS、ラマンといったマルチモーダルイメージングをフィールドフリーかつ高い空間分解能で実現しました。

    フェムト秒レーザー加工システムTESCAN FemtoChisel

    TESCAN GROUP, a.s.

    フェムト秒レーザー加工システムTESCAN FemtoChisel

    新製品

    FemtoChisel は、半導体のサンプル前処理や故障解析のために特化して設計された、次世代のフェムト秒レーザー・ソリューションです。 これまでは「スループット(加工速度)」「精度」「表面品質」のどれかを犠牲にする必要がありましたが、FemtoChisel ではそれらすべてをひとつの統合プラットフォーム上で実現します。

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム SOLARIS X 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Xe プラズマ FIB-SEMシステム SOLARIS X 2

    TESCAN社の最新鋭SOLARIS X 2は、従来のGa FIB-SEMシステムでは困難だった材料解析のために製品化されたプラズマFIBと、イマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    TSV(シリコン貫通電極)、MEMS、はんだバンプ、Cu ピラー、BGA の全体構造といった広いスケールの構造をもつ材料や深く埋もれた構造をもつ材料に対して、大面積の加工を高速で行うことが可能になることに加えて、クラス最高の低加速SEM観察能力により高い精度での物理解析が実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

     

    ビーム分解能の向上により、TEM試料作製の完全自動作製機能にも対応しています。

    Ga FIB-SEMシステム AMBER 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Ga FIB-SEMシステム AMBER 2

    TESCAN社の最新鋭AMBER 2は、高い加工位置精度を有するGa FIBとフィールドフリー超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    電池材料、磁性材料、ソフトマテリアルなど多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現します。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

    Ga FIB-SEMシステム SOLARIS 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    Ga FIB-SEMシステム SOLARIS 2

    TESCAN社の最新鋭SOLARIS 2は、高い加工位置精度を有するGa FIBとイマージョン光学系を装備した超高分解能FE-SEMが一体となった分析システムです。
    多種多様な素材に対して、微細加工、微小試料作製、3Dイメージングを高い分解能で実現できるだけでなく、正確な終点検出を必要とするデバイス故障解析に最適です。また、ToF-SIMS、ラマンといった分析技術とのマルチモーダルイメージングが可能です。

    走査透過電子顕微鏡 TENSOR

    TESCAN GROUP, a.s.

    走査透過電子顕微鏡 TENSOR

    TESCAN TENSORは、STEMイメージング、EDS元素分析、4D-STEM、電子回折図形の取得を1台で可能にする次世代の分析STEM(Scanning Transmission Electron Microscope)です。独自のプリセッション電子回折技術と高度な自動化機能により、ナノスケールでの構造・組成・結晶情報を高速かつ高精度に取得できます。

    電界放出形走査電子顕微鏡 MAGNA

    TESCAN GROUP, a.s.

    電界放出形走査電子顕微鏡 MAGNA

    TESCAN社最新鋭のMAGNAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した超高分解能走査型電子顕微鏡です。イマージョン光学系を採用しており、高分解能・高コントラスト観察に有効です。クロスオーバーフリー光学系の選択も可能で、このユニークな手法を用いると色収差が小さくなり、低加速電圧でのビーム性能が大幅に向上します。
    エネルギーフィルタリングが可能なインカラム検出器が配置されおり、ナノマテリアルのキャラクタリゼーションに最適です。

    自動鉱物粒子解析SEM TIMA

    TESCAN GROUP, a.s.

    自動鉱物粒子解析SEM TIMA

    TESCAN社TIMAは、MLAとも呼ばれる自動鉱物粒子解析に特化した最新鋭の走査電子顕微鏡です。最大4つのEDS検出器が装着可能で、その同時取得により高速分析が実現します。ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用しているため、微細な鉱物粒子の識別が高い空間分解能で可能です。専用の自動ソフトウエアにより、SEM観察とEDS分析が無人でできるだけでなく、粒子の分離や鉱物種の同定も自動で行うことができます。
    選鉱における鉱物試験として非常に有効なツールであるだけでなく、岩石の微細組織解析に代表される地球科学分野の研究や、考古遺物や文化財の鉱物学的研究にも高い能力を発揮します。

    X線マイクロCTシステム UniTOM HR 2

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム UniTOM HR 2

    新製品

    TESCAN社最新鋭のUniTOM HR 2は、時間変化を伴う現象の観察と高分解能解析を1台で実現するハイエンドマイクロCTシステムです。試料を装置から取り外すことなく、広視野でのダイナミックCT観察から、関心領域(ROI)のサブミクロン解析へシームレスに移行できます。これにより、現象の発生から原因解析までを同一試料・同一座標系上で追跡でき、より信頼性の高い研究データを取得できます。

    X線マイクロCTシステム UniTOM XL

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム UniTOM XL

    TESCAN社最新鋭のUniTOM XLは、さまざまな試料・アプリケーションに柔軟に対応できる高速・マルチスケールX線マイクロCTシステムです。

    X線マイクロCTシステム CoreTOM

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム CoreTOM

    TESCAN社最新鋭のCoreTOMは、医療用CTの測定視野の広さとラボ用X線マイクロCTの空間分解能の双方を1台で両立したX線マイクロCTシステムです。
    地質調査で採取されるコアサンプルから細孔・粒子レベルのイメージングまで、幅広いスケールに対応します。

    X線マイクロCTシステム DynaTOM

    TESCAN GROUP, a.s.

    X線マイクロCTシステム DynaTOM

    TESCAN社最新鋭のDynaTOMは、タイムラプス実験・その場観察に特化した、世界で初めて・世界で唯一のラボ用X線マイクロCTシステムです。
    放射光施設でしか実現できなかった4Dトモグラフィー実験が、ラボベースで可能になります。