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2021年4月27日
株式会社東陽テクニカ

最先端のナノテクノロジー研究からの多様なニーズに対応
原子間力顕微鏡「HR-AFM」を販売開始
～ 高性能なAFMを低価格で提供 ～

株式会社東陽テクニカ(本社：東京都中央区、代表取締役社長：高野 俊也(こうの としや)、以下 東陽テクニカ)は、東陽テクニカが国内代理店を務めるAFMWorkshop社(本社：米国サウスカロライナ州)の新製品、原子間力顕微鏡「HR-AFM」の販売を開始いたしました。ナノテクノロジー研究で使われる原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope、以下AFM)では一般的なクローズドループスキャナ^※1の装備に加え、ノイズフロア35pm^※2を達成し、高性能なAFMでありながら低価格での提供を実現しました。高分解能の表面粗さや段差測定を少ない投資で可能にすることで、より信頼性の高い測定データを必要とする研究開発に寄与いたします。

※1 クローズドループスキャナ：圧電素子の変位をモニタするセンサーが組み込まれたスキャナで、その信号を読んで制御する行うため圧電素子由来のアーティファクトを排除できる。
※2 ノイズフロア：装置を設置する建屋の床がもつ振動や装置自体が持つ電気ノイズや剛性など、最終的に装置に乗ってくるノイズレベルのこと。pmはピコメートル（1ピコメートル＝1兆分の1メートル）

原子間力顕微鏡(AFM)について

AFMは、プローブと呼ばれる先鋭な針(探針)で試料表面をなぞり、表面の微細な凹凸を3次元的に計測する装置です。電子顕微鏡(SEM)と同じようなnm^※3スケールの空間分解能を有し、特に高さ(Ｚ)方向に高い分解能を誇る点が他の顕微鏡装置にはない特長です。また、表面形状だけでなく、探針で“触れる”という特長を生かした力学特性や電気物性の空間的な分布を可視化することも可能で、AFMは薄膜・コーティング、２次元材料、各種エレクトロニクス材料、ソフトマテリアルなどさまざまな研究分野で用いられています。

※3 nm：ナノメートル。1ナノメートル＝10億分の1メートル。

精密なスキャン位置制御が可能なクローズドループ機構の搭載と低ノイズ性能を両立するAFMは、ナノテクノロジー研究の最先端で必須とされながらも、その価格が高額なため導入が見送られるケースが多くあります。このたびAFMWorkshop社が開発した「HR-AFM」は、メカニカルパスを短くする等で堅牢性の向上を図り、35pmという低いノイズフロアを実現しながらも価格を抑え、高性能なAFMを低価格で提供することを可能にしました。
また「HR-AFM」は、電流マッピングが可能なコンダクティブAFM機能や、弾性率や吸着力などの力学特性評価が可能なフォースディスタンスカーブ機能などをオプションとして提供しており、多様なニーズに対応いたします。

東陽テクニカは、1989年に日本で初めてAFMを発売して以来、国内で累計1,000台以上のAFMの販売実績を持ち、高度な技術サポートも提供し続けています。今後も東陽テクニカは、AFMWorkshop社の製品を通して日本のナノテクノロジー研究に貢献してまいります。

「HR-AFM」の主な特長

• クローズドループスキャナ標準装備
• ノイズフロア35pm を達成
• 17μmのZスキャンレンジを有し、凹凸の大きいサンプルにも対応
• ビデオ光学顕微鏡についてトップビュー・サイドビュー双方を標準装備
• さまざまな観察・測定モードに対応
• LabVIEW ベースのソフトウェア

製品データ

• 製品名：原子間力顕微鏡 「HR-AFM」
• 販売開始日：2021年4月27日
• 価格：720万円（税別）～

AFMWorkshop社について

AFMWorkshop社は2010年に米国カリフォルニア州で設立されました。創業者Dr. Paul Westは30年以上にわたるAFM開発およびアプリケーション研究の経験を持ち、多くの特許を取得しています。
AFM装置の新機軸・製造・操作に関する長年のノウハウを生かした革新的設計により、高性能AFMを非常に低価格で供給できる実力を持つとともに、AFM操作の教育にも力を注いでいる企業です。
AFMWorkshop社サイト：https://www.afmworkshop.com/

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