「SEMICON Japan」
開催時間
2024年12月11日(水)~13日(金) 10:00~17:00
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東京ビッグサイト 東展示棟ホール7 小間番号:7004
東陽テクニカは、“はかる”技術のリーディングカンパニーとして、最先端の計測ソリューションを国内外の産業界に提供しています。
本展では、「高感度ひずみ/振動計測」、「設備状態監視」の2つの分野で、半導体の安定供給を実現するための施策の一つである 「歩留まりの改善」に
貢献する最先端技術をご紹介いたします。
展示会名:SEMICON Japan
会期:2024年12月11日(水)~13日(金) 10:00~17:00
会場:東京ビッグサイト 東展示棟 ホール7
小間番号:7004
出展予定製品・ソリューション
高感度ひずみ/振動計測
極薄!高感度!動ひずみセンサDragonfly
Dragonflyは薄さわずか0.2mmながら、従来のひずみゲージの約1,000倍の高感度を有する圧電型動ひずみセンサです。この革新的なセンサは、状態監視や研究開発の領域で、様々な用途に対応するために設計されています。半導体製造装置各所に後から設置が可能で、接触等の異常で発生する微小なひずみをとらえることができます。
微小振動モニタリングシステム
超高感度・低周波応答を持つ加速度センサより得られた信号をモニタリングし、指定した閾値を超えた場合にアラートを出すシステムです。周波数分析結果に対する閾値を設定でき、特定の異常現象に対する警告を生成することもできます。加速度のみならず、センサを追加すれば、磁場や水温などのモニタリングも可能です。
設備状態監視
状態監視システム
高精度な圧電型振動センサを軸に、トランスミッタやPLC、モニタリングソフトまでを含めたトータルシステムを提供します。センサは、汎用タイプだけでなく、高温タイプ、4-20mA出力タイプや防爆対応タイプといった様々なラインアップをご用意しております。設備への取り付けに最適な振動センサをご提案します。
ワイヤレスセンサシステム
超低消費電力かつ非常にコンパクトな形状のセンサと、エッジコンピューティングが可能なゲートウェイ、そしてユーザーフレンドリーな解析ソフトから構成される業界でも類を見ない画期的なシステムです。専用のルーター経由でPCのブラウザから、振動データやFFTの結果をリアルタイムに見ることが可能です。配線を心配することなく、簡単に取り付けて、設備のモニタリングができます。
IO-Link対応振動センサ
IO-Linkに対応した振動センサです。受感素子には実績のある圧電素子が使われており、高精度な振動計測が可能です。機械の状態は継続的に監視され、一般的な故障がないか確認されます。これにより、重大な損傷や故障が発生する前に、タイムリーかつ予測可能なメンテナンスのスケジュールを立てることができます。継続的な監視は、単発の測定と比較して、生産のダウンタイムに対して優れた効果を発揮します。
※展示製品は予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。