光ファイバ変位センサ Fotonic

特長仕様アプリケーション

MTI Instruments社は1968年に世界で初めて光ファイバセンサを出荷して以来、常に業界をリードしています。

光で測定するため、電気ノイズ、磁気ノイズ、放射線などの影響を受けません
2mm以下のプローブで狭い箇所の測定ができます
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特長

測定原理

光を対象物に照射、反射させ、その光量の変化により変位を測定します。

2mm以下のプローブで狭い箇所の測定ができます
光で測定するため、電気ノイズ、磁気ノイズ、放射線などの影響を受けません
エッジを検出する専用プローブがあります。
応答周波数100kHz以上

仕様

プローブ仕様

使用温度範囲： -70℃～150℃　（オプション例 -190℃～750℃、絶対零度付近もご相談）
耐圧： 98kPa～3.447MPa　（オプションで高真空、高圧仕様あり）
プローブ先端の曲げ加工（オプション）
プリズム加工（光の照射向きを90度変更、オプション）
光学エクステンダを用い、測定レンジを約10mmシフト（オプション）
その他、特注環境仕様、特注プローブ形状のご相談を承ります。

上図は典型的な光ファイバプローブの出力カーブになります。レンジ1とレンジ2の2ヶ所に直線部分があり、この直線部分で測定します。

光学ピークを 10V に校正することで、どの測定物でも同じ感度で測定できます。測定物を光学ピーク位置でセットし走査すると、表面欠陥検出もできます。
例：型式MTI-2020Rプローブの測定距離と測定範囲

分解能はピークtoピーク値です。他社表記のrms値に比べ、数倍大きく表現されています。

標準モデル

プローブ型番	プローブ外径 mm	スポット径 mm	周波数応答 (-3dB) kHz	出力ノイズ mV p-p		感度 μm/mV	分解能例１（100kHz時） μm	分解能例２（100Hz時） μm	プローブからの測定距離と測定範囲	光学ピーク中心位置 mm	光学ピーク値 5%以内範囲mm
MTI- 2020R	0.508	0.178	120	30	レンジ１	0.016	0.438	0.032	0.076mm～(中心0.127mm)～ 0.178mm の0.102mm範囲	0.305	0.127
MTI- 2020R	0.508	0.178	120	30	レンジ２	0.076	2.081	0.152	0.3555mm～(中心0.508mm)～ 0.6605mmの0.305mm範囲	0.305	0.127
MTI- 2032R	0.813	0.483	120	20	レンジ１	0.019	0.347	0.038	0.0635mm～(中心0.127mm)～ 0.1905mmの0.127mm範囲	0.508	0.127
MTI- 2032R	0.813	0.483	120	20	レンジ２	0.127	2.319	0.254	0.5205mm～(中心0.889mm)～ 1.2575mmの0.737mm範囲	0.508	0.127
MTI- 2047R	1.194	0.686	130	10	レンジ１	0.020	0.175	0.040	0.0635mm～(中心0.127mm)～ 0.1905mmの0.127mm範囲	0.457	0.127
MTI- 2047R	1.194	0.686	130	10	レンジ２	0.203	1.780	0.406	0.610mm～(中心1.118mm)～ 1.626mmの1.016mm範囲	0.457	0.127
MTI- 2062R	1.600	1.194	150	5	レンジ１	0.025	0.102	0.050	0.051mm～(中心0.127mm)～ 0.203mmの0.152mm範囲	0.660	0.229
MTI- 2062R	1.600	1.194	150	5	レンジ２	0.381	1.555	0.762	1.016mm～(中心1.778mm)～ 2.540mmの1.524mm範囲	0.660	0.229
MTI- 2062H	1.600	1.194	150	5	レンジ１	0.127	0.052	0.025	0.381mm～(中心0.762mm)～ 1.143mmの0.762mm範囲	2.540	0.356
MTI- 2062H	1.600	1.194	150	5	レンジ２	0.508	2.074	1.016	2.8575mm～(中心3.810mm)～ 4.7625mmの1.905mm範囲	2.540	0.356
MTI- 2125R	3.175	2.286	190	3	レンジ１	0.025	0.054	0.050	0.102mm～(中心0.178mm)～ 0.254mmの0.152mm範囲	0.813	0.356
MTI- 2125R	3.175	2.286	190	3	レンジ２	0.762	2.176	1.524	1.270mm～(中心3.048mm)～ 4.826mmの3.556mm範囲	0.813	0.356
MTI- 2125CTI	3.175	2.286	150	3	レンジ１	0.178	0.436	0.356	0.508mm～(中心0.762mm)～ 1.016mmの0.508mm範囲	2.540	0.508
MTI- 2125CTI	3.175	2.286	150	3	レンジ２	0.762	2.449	1.524	3.810mm～(中心5.588mm)～ 7.366mmの3.556mm範囲	2.540	0.508
MTI- 2125H	3.175	2.286	150	3	レンジ１	0.330	0.808	0.660	0.381mm～(中心1.270mm)～ 2.159mmの1.778mm範囲	4.572	1.270
MTI- 2125H	3.175	2.286	150	3	レンジ２	1.016	2.489	2.032	5.3975mm～(中心7.620mm)～ 9.8425mmの4.445mm範囲	4.572	1.270

高分解能モデル

標準モデルをベースにした、高分解能モデルです。このモデルの測定レンジは1つになります。
アンプ部のスイッチにて、 "標準モード" と "高分解能モード（分解10倍）" の２種類の測定の切り替えが可能です。

プローブ型番	プローブ外径mm	スポット径 mm	周波数応答 (-3dB) kHz	出力ノイズ mV p-p	測定モード	感度 μm/mV	分解能例1 （100kHz時） μm p-p	分解能例2 （100Hz時） μm p-p	プローブからの測定距離と測定範囲	光学ピーク中心位置mm	光学ピーク値5%以内範囲mm
MTI-2032RX	0.813	0.483	100	30	標準	0.005	0.150	0.010	0.020mm～(中心0.038mm)～ 0.056mmの0.036mm範囲	0.127	0.038

反射率自動補正モデル

反射率の変化を自動補正し、ユーザー様が校正することなく直線特性の絶対値が得られます。測定物正面にセンサが取り付けられない状況や、反射が一様でない回転体などの測定に特に有用です。このモデルに限り、測定部の光スポットは長方形になります。

プローブ型番	プローブ外径 mm	スポット方形 mm	周波数応答(-3dB) kHz	出力ノイズ mV p-p		感度 μm/mV	分解能例1 （100kHz時） μm p-p	分解能例2 （100Hz時） μm p-p	プローブからの測定距離と測定範囲
200RC	5.080	0.762 ×3.175	100	60	(レンジは１つのみ)	0.406	24.36	0.812	1.270mm～(中心2.540mm)～ 3.810mmの2.540mm範囲

エッジモデル

エッジプローブは、磁気テープ、ハードディスクなどの薄い測定物の測定に適しています。下図において、水平方向の変位を極めて高い精度で測定します。

プリズムで光を曲げる方法と、プローブ自身を曲げ加工する方法があります。ユーザー様の仕様に合わせてプローブは製作します。

アンプ部のスイッチにて、 "標準モード" と "高分解能モード" の２種類の測定の切り替えが可能です。

プローブ型番	プローブ外径 mm	スポット径 mm	周波数応答(-3dB) kHz	出力ノイズ mV p-p	測定モード	感度 μm/mV	分解能例1 （100kHz時） μm p-p	分解能例2 （100Hz時） μm p-p	プローブからの測定距離と測定範囲
MTI-2047E	1.194	0.686	100	13	標準	0.019	0.247	0.038	プローブ-プローブ間距離は任意、測定範囲は0.127mm
MTI-2047E	1.194	0.686	100	13	高分解能	0.0025	0.0325	0.005	プローブ-プローブ間距離は任意、測定範囲は0.051mm
MTI-2062E	1.600	1.194	100	18	標準	0.031	0.558	0.062	プローブ-プローブ間距離は任意、測定範囲は0.191mm
MTI-2062E	1.600	1.194	100	18	高分解能	0.004	0.072	0.008	プローブ-プローブ間距離は任意、測定範囲は0.061mm