極低温プローバー

assignment極低温プローブステーションにおける微小電流測定で考慮すべき点

微小電流測定(1nA未満)は、半導体デバイスの設計と製造品質を評価する重要な測定です。 また半導体デバイスが小型化されていくにつれて、リーク電流は電力消費を大幅に増加させ、デバイスの性能低下を引き起こす可能性があります。リーク電流の原因の多くは温度依存性を持つため、リークを評価する方法として極低温プローブ測定は効果的です。
ここでは微小電流測定、極低温プローブ測定の重要なポイントをレビューします。

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