極低温プローバー
微小電流測定（1nA未満）は、半導体デバイスの設計と製造品質を評価する重要な測定です。 また半導体デバイスが小型化されていくにつれて、リーク電流は電力消費を大幅に増加させ、デバイスの性能低下を引き起こす可能性があります。リーク電流の原因の多くは温度依存性を持つため、リークを評価する方法として極低温プローブ測定は効果的です。
ここでは微小電流測定、極低温プローブ測定の重要なポイントをレビューします。
動画「極低温プローブの接触方法」（日本語字幕）
動画「極低温プローブの接触方法① DC測定用プローブ」
動画「極低温プローブの接触方法② マイクロ波＆RFプローブ」
動画「極低温プローブの接触方法③ 温度可変プローブ」
