Lake Shore Cryotronics Inc.(レイクショア / USA)
TTPX型は6本までのマイクロマニピュレータを装備できる卓上コンパクトな極低温プローバーです。TTPXは極低温環境下での電気特性、光物性評価が可能で、直径51mmまでのサンプルや多数のデバイスをウェーハ上に作成した場合も切り出しやワイヤボンディングなしで電気測定が可能です。また、放射熱をカットするために、放射シールド、サンプルステージの2段階冷却構造を有しており、サンプルを確実に冷却することが可能です。
東陽テクニカ(強誘電体評価)
強誘電体特性評価システムのオプション一覧です。
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