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強誘電体評価システム オプション 

東陽テクニカ(強誘電体評価)
強誘電体評価システム オプション
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強誘電体評価システムのオプション一覧です。
 ・電圧拡張オプション
 ・プロービング・オプション
 ・変位測定オプション
 ・インピーダンスアナライザ
 ・温度制御オプション
 ・ FeRAM測定オプション

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
TEL:03-3245-1103
Email:keisoku[at]toyo.co.jp
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特長

電圧拡張オプション関係

高速電圧増幅器
出力電圧 ±100V、±200V、±300V、± 400V option1.jpg
出力電流 ±100mADC(300V 以上は±75mA)
周波数帯域 1MHz(@-3dB)(300V 以上は250kHz)
スルーレート 300V/us( @ 300pF)
(300V 以上は150V/us)
     
高電圧増幅器
出力電圧 ±1kV、±4kV、±10kV  
出力電流 ±40mA、±20mA、±10mA  
周波数帯域 1.8kHz、35kHz、45kHz(@-3dB)  
       
バーチャルグランド保護ユニット  
目  的 電圧増幅器使用時のサンプルショートにおける瞬時電流をグランドへ流す。
保護対象 IV&QV 変換器 option3.jpg
回路構成 50Ω 抵抗、下流側ダイオード
     
     
 
高電圧分極変位測定冶具  
機  能 ・高電圧印加時分極ヒステリシス測定におけるサンプルホルダ
・ 高電圧印加時圧電変位測定(レーザ変位計使用)でのサンプルホルダ
サンプル形状 直径25mm迄のコイン状 option4.jpg
サンプル放電保護 サンプルを絶縁油に浸すとができる。
     

プロービング・オプション関係

トラックボックス・プローバ
ステージ :4インチ、6インチ option5.jpg
ポジショナ :同軸×4
ホットチャック :可能(RT~400℃)
その他 :顕微鏡、卓上除振台
   
シールディング・プローバ
ステージ :4インチ、6インチ、8インチ option6.jpg
ポジショナ :同軸/3軸
ホットチャック :可能
その他 :顕微鏡、卓上除振台等
   

変位測定オプション関係

5nm分解能横置きフリンジカウント・レーザ変位計
本製品は、販売終了となりました。
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レーザ種類 :He-Ne ガスレーザ
測定項目 :圧電歪変位
測定分解能 :5nm
   
   
0.3nm 分解能半導体フリンジカウント・レーザ変位計
本製品は、販売終了となりました。
レーザ種類 :半導体レーザ    
測定項目 :圧電歪変位    
測定分解能 :0.3nm
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1nm 顕微鏡型フリンジカウント・レーザ変位計
レーザ種類 :He-Ne ガスレーザ
測定項目 :圧電歪変位
  (面外d33、面内d31 方向切り替え可能)
測定分解能 :1nm/10nm(面内)、4nm(面外)
 
原子間力顕微鏡(クローズドループリニアスキャナ搭載)
本製品は、販売終了となりました。
 
測定項目 表面形状観察 option10.jpg
      コンタクトモード、
ノンコンタクトモード、
クローストコンタクトモード等
    分極マッピング観察
      ロックインアンプを使用し、表面の分極方向をマッピング・歪変位測定
強誘電体システムのプロービング装置及び変位計として使用
Å変位測定分解能、~ 1kHz
    圧電ヒステリシス測定
      強誘電体システムのプロービング装置兼変位計として使用
(ロックインアンプを使用し、圧電定数を直接測定)
 
    ・分極ヒステリシス測定
      強誘電体システムのプロービング装置として使用  
構成品 リニアスキャナ搭載原子間力顕微鏡、ミニチュアプローバ付サンプルパック、シグナルコンソール、コントローラ、ロックインアンプ、変位信号増幅器、除振台等

インピーダンスアナライザ関係

インピーダンスアナライザ(共振法圧電定数測定)
測定パラメータ インピーダンス、アドミタンス、コンダクタンス、
抵抗、容量、誘電率、誘電損、インダクタンス他
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測定手法 各パラメータの周波数依存性
 コールコールプロットも可
(周波数特性測定:10uHz ~ 32MHz)
 オフセット電圧依存性(CV 特性)
 振幅電圧依存性
共振法 誘電率やアドミタンスの周波数特性測定、コールコールプロット図から必要なパラメータを測定できます。
構成品 インピーダンスアナライザ、交流測定・解析ソフトウエア
       

温度制御オプション関係

200℃10KV変位測定温度制御オプション
測定項目 :Pr、変位、dss等のパラメータ対測定(横軸温度、縦軸パラメータ)
温度範囲 :RT ~ 200℃(-20℃~ 150℃のタイプもあります)
構成品 :小型恒温槽、温度モニタ、シールドボックス、ケーブル、制御ソフトウエア
     
恒温槽制御オプション
測定項目 :Pr、誘電率等パラメータ対温度測定
 (横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示)
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温度範囲 :-40℃~ 150℃、RT ~ 200℃等
  (温度範囲はご相談ください)
   
ホットチャック装備トラックボックス・プローバオプション
ステージ :4インチ、6インチ option13.jpg
ポジショナ :同軸x6まで
温度範囲 :RT~400℃
   
超高温/ 高電圧サンプルホルダ
温度範囲 :常温~ 1600℃(~40V)
 常温~ 500℃(~10kV)
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雰囲気制御 :各種ガス循環、真空(e-2Torr)
測定例 :Pr、誘電率等のパラメータやリーク電流対温度
 (横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示)
   
極低温プローブステーション
温度範囲 :4.5K ~ 475K option15.jpg
雰囲気制御 :N2パージ、真空(e-2Torr)
ポジショナ :同軸、3軸x4 または6まで
   

 

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