東陽テクニカ(強誘電体評価)

強誘電体評価システム オプション

強誘電体評価システムのオプション一覧です。

  • 電圧拡張オプション
  • プロービング・オプション
  • 変位測定オプション
  • 温度制御オプション
  • FeRAM測定オプション

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
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Email:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

電圧拡張オプション関係

高速電圧増幅器

出力電圧:
±100V、±200V、±300V、± 400V
出力電流:
±100mADC(300V 以上は±75mA)
周波数帯域:
1MHz(@-3dB)(300V 以上は250kHz)
スルーレート:
300V/us( @ 300pF)
(300V 以上は150V/us)

高電圧増幅器

出力電圧:
±1kV、±4kV、±10kV
出力電流:
±40mA、±20mA、±10mA
周波数帯域:
1.8kHz、35kHz、45kHz(@-3dB)

バーチャルグランド保護ユニット

目  的:
電圧増幅器使用時のサンプルショートにおける瞬時電流をグランドへ流す。
保護対象:
IV&QV 変換器
回路構成:
50Ω 抵抗、下流側ダイオード

高電圧分極変位測定冶具

機  能:
高電圧印加時分極ヒステリシス測定におけるサンプルホルダ
高電圧印加時圧電変位測定(レーザ変位計使用)でのサンプルホルダ
サンプル形状:
直径25mm迄のコイン状
サンプル放電保護:
サンプルを絶縁油に浸すとができる。

プロービング・オプション関係

トラックボックス・プローバ

ステージ:
4インチ、6インチ
ポジショナ:
同軸×4
ホットチャック:
可能(RT~400℃)
その他:
顕微鏡、卓上除振台

シールディング・プローバ

ステージ:
4インチ、6インチ、8インチ
ポジショナ:
同軸/3軸
ホットチャック:
可能
その他:
顕微鏡、卓上除振台等

変位測定オプション関係

1nm 顕微鏡型フリンジカウント・レーザ変位計

レーザ種類:
He-Ne ガスレーザ
測定項目:
圧電歪変位   (面外d33、面内d31 方向切り替え可能)
測定分解能:
1nm/10nm(面内)、4nm(面外)

温度制御オプション関係

200℃10KV変位測定温度制御オプション

測定項目:
Pr、変位、dss等のパラメータ対測定(横軸温度、縦軸パラメータ)
温度範囲:
RT ~ 200℃(-20℃~ 150℃のタイプもあります)
構成品:
小型恒温槽、温度モニタ、シールドボックス、ケーブル、制御ソフトウエア

恒温槽制御オプション

測定項目:
Pr、誘電率等パラメータ対温度測定
 (横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示)
温度範囲:
-40℃~ 150℃、RT ~ 200℃等
  (温度範囲はご相談ください)

ホットチャック装備トラックボックス・プローバオプション

ステージ:
4インチ、6インチ
ポジショナ:
同軸x6まで
温度範囲:
RT~400℃

超高温/ 高電圧サンプルホルダ

温度範囲:
常温~ 1600℃(~40V)
常温~ 500℃(~10kV)
雰囲気制御:
各種ガス循環、真空(e-2Torr)
測定例:
Pr、誘電率等のパラメータやリーク電流対温度
(横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示)

極低温プローブステーション

温度範囲:
4.5K ~ 475K
雰囲気制御:
N2パージ、真空(e-2Torr)
ポジショナ:
同軸、3軸x4 または6まで