強誘電体特性評価システム オプション
強誘電体特性評価システムのオプション一覧です。
- 電圧拡張オプション
- プロービング・オプション
- 変位測定オプション
- 温度制御オプション
- FeRAM測定オプション
(株)東陽テクニカ 理化学計測部
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特長
電圧拡張オプション関係
高速電圧増幅器
- 出力電圧：
- ±100V、±200V、±300V、± 400V
- 出力電流：
- ±100mADC（300V 以上は±75mA）
- 周波数帯域：
- 1MHz（@-3dB）（300V 以上は250kHz）
- スルーレート：
- 300V/us（ ＠ 300pF）
（300V 以上は150V/us）
高電圧増幅器
- 出力電圧：
- ±1kV、±4kV、±10kV
- 出力電流：
- ±40mA、±20mA、±10mA
- 周波数帯域：
- 1.8kHz、35kHz、45kHz（@-3dB）
バーチャルグラウンド保護ユニット
- 目 的：
- 電圧増幅器使用時のサンプルショートにおける瞬時電流をグランドへ流す。
- 保護対象：
- IV&QV 変換器
- 回路構成：
- 50Ω 抵抗、下流側ダイオード
高電圧分極変位測定冶具
- 機 能：
- 高電圧印加時分極ヒステリシス測定におけるサンプルホルダ
高電圧印加時圧電変位測定（レーザ変位計使用）でのサンプルホルダ
- サンプル形状：
- 直径25mm迄のコイン状
- サンプル放電保護：
- サンプルを絶縁油に浸すとができる。
プロービング・オプション関係
トラックボックス・プローバ
- ステージ：
- 4インチ、6インチ
- ポジショナ：
- 同軸×4
- ホットチャック：
- 可能（RT～400℃）
- その他：
- 顕微鏡、卓上除振台
シールディング・プローバ
- ステージ：
- 4インチ、6インチ、8インチ
- ポジショナ：
- 同軸／3軸
- ホットチャック：
- 可能
- その他：
- 顕微鏡、卓上除振台等
変位測定オプション関係
1nm 顕微鏡型フリンジカウント・レーザ変位計
- レーザ種類：
- He-Ne ガスレーザ
- 測定項目：
- 圧電歪変位 （面外d33、面内d31 方向切り替え可能）
- 測定分解能：
- 1nm/10nm（面内）、4nm（面外）
温度制御オプション関係
200℃10KV変位測定温度制御オプション
- 測定項目：
- Pr、変位、dss等のパラメータ対測定（横軸温度、縦軸パラメータ）
- 温度範囲：
- RT ～ 200℃（-20℃～ 150℃のタイプもあります）
- 構成品：
- 小型恒温槽、温度モニタ、シールドボックス、ケーブル、制御ソフトウエア
恒温槽制御オプション
- 測定項目：
- Pr、誘電率等パラメータ対温度測定
（横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示）
- 温度範囲：
- -40℃～ 150℃、RT ～ 200℃等
（温度範囲はご相談ください）
ホットチャック装備トラックボックス・プローバオプション
- ステージ：
- 4インチ、6インチ
- ポジショナ：
- 同軸x6まで
- 温度範囲：
- RT～400℃
超高温/ 高電圧サンプルホルダ
- 温度範囲：
- 常温～ 1600℃（～40V）
常温～ 500℃（～10kV）
- 雰囲気制御：
- 各種ガス循環、真空（e-2Torr）
- 測定例：
- Pr、誘電率等のパラメータやリーク電流対温度
（横軸温度、縦軸パラメータのグラフ表示）
極低温プローブステーション
- 温度範囲：
- 4.5K ～ 475K
- 雰囲気制御：
- N2パージ、真空（e-2Torr）
- ポジショナ：
- 同軸、3軸x4 または6まで