FAQ
低温測定
極低温プローバー全般
ID.
Q. CRX-6.5K使用時のステージにおける熱の均一性について
LakeShore社製CRX-6.5Kを使用して低温での半導体デバイスの特性を測定する場合、付属品のステージ上にサンプルをただ載せるだけよりもグリス等を使用し、凹凸を埋めるようにした方がサンプルの面内での熱の均一性は取れるのでしょうか？
A.
凹凸のあるステージが実際に測定結果に悪い影響を与えるかどうかは、何ケルビンの温度むらが許容できるか、観察窓からの入射熱量、サンプルの厚さ、サンプルの熱伝導率、サンプルと試料台の凸部の熱接触、サンプルと凹部の熱接触といった要素を合わせて考える必要があります。いろいろな対策が考えられますが、手っ取り早く温度むらを改善したい場合はサンプルと試料台のあいだに温度むらを解消するのに十分な厚さの金属の板を挿入して、そして互いにアピエゾングリスなどで熱的に結合するという方法がよいだろうと思います。アピエゾングリスは薄く塗らないと熱を伝えてくれませんので溝を埋めても改善は期待できません。