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マグネトロン評価装置

  • マグネットバー&スパッタ品質コントロールシステム「m-cat」
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    マグネットバー&スパッタ品質コントロールシステム「m-cat」
    Matesy GmbH [独国マテジー社]

    m-catは、異なる種類のマグネットバーの磁気特性を調べるための装置です。
    この装置を用いて、ターゲットチューブの直径・表面特性についても測定することが出来ます。

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