Evicomagnetics GmbH  (エビコマグネティクス / ドイツ)

カー効果顕微鏡

磁区や磁化プロセスを研究するために開発されたカー顕微鏡は、広い視野でサンプル全体を観察することや(30mm x 30mm範囲)、光学顕微鏡の限界を極めた微小スケールの観察(最高分解能分解能300nm)が可能です。
低コントラストな磁化イメージは、高度に画像処理され鮮明に映し出されます。また、任意の領域を選んで光学的にその部分の磁化曲線を測定(MOKE磁化測定)できます。その際、同じ領域の磁化像も同時並行的に記録できます。

株式会社東陽テクニカ 理化学計測部
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Mail:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

  • 最高級の偏光顕微鏡(カールツァイス)
  • 高分解能かつ高感度なデジタルCCDカメラ(浜松ホトニクス)
  • 安定性の高いLED光源
  • X-Y-回転サンプルステージ
  • コントラスト調整のための可変しぼり(縦・横・極カー効果の感度)
  • 楕円偏光を修正し、かつ多層サンプルにおいて深さ方向に選択的な観察をするための回転式波長板
  • 数十ミリメートルから数マイクロメートルまでの観察範囲 (基本構成は以下2通りです)
    ・標準システム 範囲:100μm ~ 5mm、最高分解能 300nm
    ・広視野コンバインシステム 標準システムと30mm ~ 8mm角のワイドレンジの構成

標準システム

広視野顕微鏡付きコンバインシステム

磁場印加オプション

  • サンプルに300 mT(標準、サンプルサイズ35mm)および1.3 T(高磁場、サンプルサイズ4mm)までの面内方向の磁場を印加できる回転可能な電磁石
  • サンプルに200 mTまでの面内方向の磁場(XY方向にコンピュータ制御可)を印加できる四重極磁石
  • サンプルに垂直な磁場を0.9 Tまで印加できる電磁石
  • サンプルに100 mTまでの磁場を印加できる空芯コイル
  • エプスタイン試験法のための電磁鋼板シート状の磁石、M(H)ループの記録と組み合わせる
  • 磁石ホルダー、サンプルステージから独立して回転可
  • 電磁石電源(バイポーラ)

ソフトウェア KerrLab

  • 観察像から背景像をリアルタイムに差し引いて磁区像を表示
  • 磁化する過程の静止画と動画を記録
  • 多彩な磁場制御:DC磁場、AC磁場、回転磁場、脱磁
  • サンプル表面の磁化曲線測定:磁区像の同時記録、ファラデー補正、ループシフト補正可
  • シャトルホイールによるエルゴノミックコントロール
  • LabVIEWベースソフトウェアでユーザーによる拡張可

オプション

  • 極低温(5 K)から室温、あるいは超高温(850 K)までの範囲でサンプルの温度を制御しながら、光学測定ができる
  • 時間分解能5nsecの増倍管を利用して200kHzのストロボスコープ的な画像取得ができる(LED光源の場合は最速25 KHz)
  • 高分解能な顕微鏡と広いエリアを観察する光学系を組み合わせることもできます。

事例紹介

珪素鋼板:無方向性電磁鋼板を2種類の顕微鏡(広視野、高分解能)の組み合わせで観察した例


100μm広視野

10μm高分解能

磁化曲線:多層膜Ni/Cu/Coの表層を選択的に観察したもの

横方向-縦方向の感度:(100)-FeSi表面の横方向と縦方向の感度の比較実験

Ni81Fe19:幅500nmのナノワイヤにあらわれた磁場構造