FAQ
低温測定
極低温プローバー全般
ID.
Q. プローバーの真空チャンバー窓部分に結露が発生するのは正常ですか？
A.
サンプルステージからの放射冷却により真空チャンバーの窓が冷やされ水蒸気が結露する可能性があります。特に湿度の高い環境では、低温での測定中に観察窓の外側に結露が生じる可能性があります。過度の結露はプロービングを困難にする可能性があり、窓をクリーニングするか、曇り止め処理する必要があるかと存じます。ただし窓や蓋に霜が生じる場合は、チャンバー内の真空レベルが高すぎる可能性があり、真空ポンプまたはチャンバーの真空シールに問題がある可能性を示しています。