FAQ
低温測定
極低温プローバー全般
ID.
Q. サンプルステージの選択する時、グランドタイプと絶縁タイプはどのように使い分けたら良いのでしょうか？
A.
LakeShore社プローブステーションにおける代表的なサンプルステージとしてグランドタイプと絶縁タイプがあります。
絶縁タイプのサンプルステージは、チャンバーのグランドとサンプルを絶縁します。不純物をドープした半導体ウエハーのように、チャンバーへのリークを防ぎたいサンプルの測定に推奨されます。
対照的に、LakeShore社各プローブステーションに標準で付属しているグランドステージはより一般的な測定用です。特にサンプルが絶縁性の高い基板上にある場合は、幅広いアプリケーションに適合します。このステージはサンプルの裏面がシステムアースに保持されているためグランドステージと呼ばれます。