Lake Shore（レイクショア）社は1968年創業、米国オハイオ州コロンバス近郊に工場を構える低温計測・磁場計測の世界的サプライヤーです。温度センサーだけでなく、磁気特性測定装置、材料特性解析システムなども手掛けており、東陽テクニカは1991年より日本の総代理店として販売・技術サポートを提供しています。

温度センサーは、熱電力・電気抵抗・半導体接合・キャパシタンスなど、物理的な原理に基づいて温度を電気信号として取り出します。セミナーでは、特に次の4種類を詳しく説明しました。

1. 熱電力を利用した「熱電対」
   2種類の金属を接合し、温度差に応じた電位差（熱起電力）を測定する方式で、工業用途で最も広く使用されています。構造がシンプルで丈夫な一方、極低温用途では精度が不足することがあります。

   

2. 電気抵抗式（RTD / 金属、半導体）
   ・正の温度係数（PTC）：金属材料。温度上昇により電子の散乱が増え抵抗値が増加。
   　例：白金抵抗温度センサ、白金コバルト、ロジウム鉄
   ・負の温度係数（NTC）：半導体材料。温度上昇によりキャリアが増加し抵抗値が減少。
   　例：ゲルマニウム、Cernoxや酸化ルテニウム抵抗センサ
3. 順方向電圧を利用したダイオード温度センサー
   シリコンダイオードの順方向電圧が温度に比例して変化する性質を利用。 温度1Kあたり約2mVの変化があり、信号が大きいため扱いやすいのが特徴です。
4. キャパシタンスセンサー
   極低温領域（10mK 付近）で使用され、磁場の影響をほぼ受けない特性を持つ特殊センサー。

セミナーでは、用途に応じたセンサー選びの重要性をご説明しました。

1. 使用温度範囲
   

   センサーによって適正範囲は大きく異なり、以下が代表例です。

   
   センサー種類と使用可能温度範囲（目安）
   酸化ルテニウム：10mK～40K
   ゲルマニウム：50mK～100K
   Celnox：100mK～420K
   白金抵抗：約14K～873K
   シリコンダイオード：14K ～500K
2. 標準カーブの有無
   標準カーブがあるセンサは個々のセンサ間のばらつきが少なく、故障した場合などは予備のセンサに交換するだけですぐに未校正のセンサであっても標準カーブを使用して測定が可能です。
3. 真空中の使用
   樹脂封止型はアウトガスが発生し高真空を損なう可能性があるため、SDパッケージなど金属／セラミック主体の構造が推奨されます。
4. 放射線耐性
   半導体系（Siダイオード・Ge）は劣化しやすく、Celnox、酸化ルテニウム、白金系が優位です。
5. 磁場の影響
   磁場中の精度が求められる場合はCelnox、酸化ルテニウムが適しています。