nanotools GmbH
先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。 シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。
チップ先端に対称性の高い球状のHDCを成長させたプローブです。主にナノインデンテーション用に使用されます。20nm~2000nmまで幅広いラインアップを揃えています。