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2015年10月13日
株式会社東陽テクニカ

MTI Instruments社製
静電容量変位センサ 「Accumeasure D」 販売開始
～ 測定距離をユーザーが変更できる独自の新技術を搭載 ～

株式会社東陽テクニカ（本社：東京都中央区、代表取締役社長：五味 勝、以下 東陽テクニカ）は、変位センサのリーディングカンパニーである米国MTI Instruments社の静電容量変位センサ「Accumeasure D」 を本日10月13日より販売いたします。

高性能・使い易さのニーズに応えた、新世代の静電容量変位センサ

一般に静電容量変位センサとは、様々な種類がある変位センサの中でも１マイクロメートル以下の測定分解能をもつ高精度の変位センサです。導体の金属や半導体のシリコンウェハなどの高さや厚みを測定するために広く使われています。
微細化を続ける半導体やスマートフォンなど小型化・複雑化している製品の研究開発ならびに製造の現場では、より精密な測定が求められるようになってきています。
「Accumeasure D（アキュメジャー ディー）」は最高0.1ナノメートルの安定した測定分解能を有し、最先端の精密測定が求められる半導体分野での要求にも応えることができます。また、USBもしくはイーサネットでパソコンと直接接続してデータを取得することができるため、データ収録器は必要ありません。さらに、従来品では測定用途ごとに異なるプローブを用意しなければなりませんが、「Accumeasure D」は独自の新技術を搭載し、一つのプローブで測定できる距離をユーザー側で変更できるため、様々な用途の測定が一つのプローブで行えます。このため、ユーザーは小規模かつ低コストのシステム構成で高精度・多用途な測定ができます。従来品では測定することができない絶縁体のサファイア基板なども測定できます。

主な特長

製品データ

製品名： 静電容量変位センサ「Accumeasure D」
標準価格： 100万円（税別）～
販売目標： 初年度 4,000万円、 次年度 8,000万円
販売日: 2015年10月13日

東陽テクニカは今後も、最先端の静電容量変位センサの提供を通じ、日本産業の発展に貢献して参ります。

MTI Instruments社について

1961年にMTI社（Mechanical Technology, Inc.）のセンサ部門が独立し、米国ニューヨーク州オールバニに設立。1968年に世界で初めて光ファイバを用いた変位センサを出荷したほか、静電容量変位センサ、レーザー変位センサのリーディングカンパニーとして活動しています。

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