ナノイメージング
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TESCAN社プラズマFIB-SEM
新技術セミナー

2018年10月23日(火)、
24日(水)、26日(金)

13:00~17:00

場所

新大阪(TKPガーデンシティ新大阪) 
名古屋(TKP名古屋ルーセントタワー) 
東京(東陽テクニカ本社)

◇ プラズマFIB-SEMの基本原理
◇ 最新のアプリケーション事例
◇ TESCAN社プラズマFIB-SEM新製品のご紹介

プラズマFIB-SEMシステムは、イオンビームにXe(キセノン)プラズマを用いた新方式のFIB-SEMシステムです。現行のGaイオンFIB-SEMシステムに比べて50倍以上のスピードで広範囲・大面積の加工ができ、数10nmレベルの位置精度での微細加工も可能です。今まで数日かけて行っていた加工や断念していたmm領域の断面加工が1日の内に実施できるため、開発効率や品質の向上、製造過程の歩留まり改善に寄与します。
 

日時 開催内容 費用 空席 定員
2018年10月23日(火)
13:00-17:00
TESCAN社プラズマFIB-SEM 新技術セミナー(新大阪) 無料 45
2018年10月24日(水)
13:00-17:00
TESCAN社プラズマFIB-SEM 新技術セミナー(名古屋) 無料 45
2018年10月26日(金)
13:00-17:00
TESCAN社プラズマFIB-SEM 新技術セミナー(東京) 無料 80
【  内 容  】  ◇ TESCAN ORSAY HOLDINGのご紹介
 ◇ プラズマFIB技術(その特長とGa FIBとの違いについて)
 ◇ プラズマFIB-SEM モデルS8000X、S9000Xのご紹介
 ◇ TOF-SIMオプションのアプリケーション事例
 ◇ 電子顕微鏡を用いたin-situ 機械特性評価事例
【  講 師  】 Antonin Doupal氏(TESCAN社)
東陽テクニカ  社員
【 参 加 費 】 無料
【日時・場所】 2018年10月23日(火):TKPガーデンシティ新大阪 カンファレンスルーム 6B
2018年10月24日(水):TKPガーデンシティPREMIUM名古屋ルーセントタワー カンファレンスルーム I 
2018年10月26日(金):東陽テクニカ 本社
 - 各日 13:00~17:00
 
お問い合わせ先
株式会社東陽テクニカ ナノイメージング&アナリシス 担当:鈴木
電話:03-3245-1239、FAX:03-3246-0645
Email:bunseki@toyo.co.jp
 

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