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ハイエンドAFM/SPM

〈走査型プローブ顕微鏡とは?〉
走査型プローブ顕微鏡(以下:SPM、Scanning Probe Microscope)とは、ナノメートルオーダーにまで先鋭化されたプローブで、試料表面に働く距離に依存する物理量を測定し、表面形状や表面物性を可視化する顕微鏡です。SPM は、SEM やTEM に匹敵する面分解能に加え、オングストロームレベルの高さ分解能を有しています。金属や磁性膜がコートされたプローブを使用すれば、表面電位や電流、熱伝導度等の物性状態を可視化できます。
 
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〈原理〉
プローブを試料表面近傍に近づけると、表面から力を受けることでカンチレバーが上下に変動します。半導体レーザをカンチレバー背面に照射し、その反射光をフォト・ディテクタにより検出することでカンチレバーの変動を検出します。フォト・ディテクタから出力される信号を一定に保つ(=力一定)ために、Z 軸ピエゾ素子によりプローブを上下に駆動させます。(光てこ式フォース・フィードバック機構)フォース・フィードバックを駆動させながらプローブをX・Y 軸方向に走査させると、表面の凹凸形状をなぞるようにプローブが 上下します。凹凸を追従するために印加されたZ軸ピエゾ素子への駆動電圧をモニターすることで表面形状が描かれます。ピエゾ素子はnm/Vでキャリブレーションすることができるため、3 次元の高さ情報が得られます。
 
走査型プローブ顕微鏡機能のラインナップ
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