nanotools GmbH
先端曲率半径を2nmまで小さくし、高分解能と耐摩耗性を両立したプローブです。 シリコン酸化膜・窒化膜・ポリシリコンなどの高分解能観察、CMP後の化学的に活性な表面の観察、プローブ先端が磨耗しやすいハードマテリアルの連続測定などに適したプローブです。
NanoWorld AG
USC(ショートカンチレバーシリーズ)は、5MHzまでの高共振周波数で測定できるようデザインされた高速AFM用プローブです。極微小カンチレバーとシャープで耐摩耗性に優れた高密度カーボンチップを組み合わせています。
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。 個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
研究向けにお求めやすい価格で、しかも長期にわたる信頼性の高い、高分解能測定を行うためのHDC/DLCプローブです。
ライフサイエンスでよく使用されるSiNプローブにHDCチップを成長させたチップです。HDCは疎水性で化学的に安定なため、バッファー溶液中でも安定して使用可能です。