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高アスペクト

  • OPUS高アスペクトプローブ
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    OPUS高アスペクトプローブ
    OPUS by μmasch®

    シリコン単結晶探針の先端のカーボンナノファイバーにより、深いトレンチをもつ試料をACモードで形状測定を行うのに適したプローブです。 ナノファイバーの曲率半径の代表値は10nmで、先端から200nmの高さにおける直径は50nmです。
    両面金コートのため、大気中と溶液中のどちらでも安定したレーザー反射率をもたらします。四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。
    これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
    カンチレバーと探針側は両方とも金がコートされていますが、カーボンナノファイバー部はコートされていません。

  • AR(高アスペクト)プローブ 
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    AR(高アスペクト)プローブ 
    NanoWorld AG

    ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
    一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。
    装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ(AR5T、AR10T)もあります。

  • 超高アスペクト比EBDプローブ
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    超高アスペクト比EBDプローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
     

  • 高アスペクト比M1プローブ
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    高アスペクト比M1プローブ
    nanotools GmbH

    一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な高アスペクト比HDC/DLCプローブです。セラミクスやフォトマスク用アプリケーションではより高度な静電気対策(ESD)が必要とされるためチップ先端に導電性コートを施したタイプもございます。
    個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • 微細形状測定用HDC/DLCプローブ
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    微細形状測定用HDC/DLCプローブ
    nanotools GmbH

    高アスペクト比でありながらスーパーシャープな先端曲率半径をもつ、一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能なHDC/DLCプローブです。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。

  • CNTプローブ 
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    CNTプローブ 
    nanotools GmbH

    カーボンナノチューブで問題となるチューブの取付け角度やチューブの長さ・太さのバラツキを解決したチップです。CNTはCarbon Nano Tipの略です。

  • 高分解能AFM用カーボンチップ 
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    高分解能AFM用カーボンチップ 
    nanotools GmbH

    研究向けにお求めやすい価格で、しかも長期にわたる信頼性の高い、高分解能測定を行うためのHDC/DLCプローブです。

  • 形状測定用プリマウントプローブ 
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    形状測定用プリマウントプローブ 

    Pacific Nanotechnogy社(PNI社)のAFM/SPMで使用するためのプローブです。ステンレスの板に予め固定されています。

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