走査電子顕微鏡【VEGA】

特長仕様

VEGA
VEGA_2

TESCAN社最新鋭のVEGAは、熱電子銃を搭載した走査型電子顕微鏡です。EDSがインテグレーションされており、観察から分析までシームレスな作業が可能です。サンプルやカラム、各種検出器の位置を3Dモデル化することにより、あらゆるレベルのユーザーの方に安心してお使いいただけるシステムです。
材料解析、品質管理などのルーチン的な作業に活用いただけます。

特長

EDS検出器との一体化により、観察に加え元素情報を即座に取得
ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
低真空モード（オプション）によるチャージアップ回避
カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能

セラミックフォームの低倍像

セラミックフォームの高倍像

アルミ基板上のリン化亜鉛粒子

EDSがインテグレートされたユーザーインターフェース

仕様

電子銃	Wフィラメント
分解能	高真空モード　　3nm at 30kV 　　8nm at 3kV 低真空モード (オプション) 　　3.5nm at 30kV
最大観察視野	50mm at max WD
加速電圧	200V ～ 30kV
最大プローブ電流	2μA