TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

走査電子顕微鏡 【VEGA】

新製品

TESCAN社最新鋭のVEGAは、熱電子銃を搭載した走査型電子顕微鏡です。EDSがインテグレーションされており、観察から分析までシームレスな作業が可能です。サンプルやカラム、各種検出器の位置を3Dモデル化することにより、あらゆるレベルのユーザーの方に安心してお使いいただけるシステムです。
材料解析、品質管理などのルーチン的な作業に活用いただけます。

特長

  • EDS検出器との一体化により、観察に加え元素情報を即座に取得
  • ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
  • チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
  • 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
  • 低真空モード(オプション)によるチャージアップ回避
  • カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能

セラミックフォームの低倍像

セラミックフォームの高倍像

アルミ基板上のリン化亜鉛粒子
 

EDSがインテグレートされたユーザーインターフェース

仕様

電子銃 Wフィラメント
分解能 高真空モード
  3nm at 30kV
  8nm at 3kV

低真空モード (オプション)
  3.5nm at 30kV
最大観察視野 50mm at max WD
加速電圧 200V ~ 30kV
最大プローブ電流 2μA