電界放出形走査電子顕微鏡 【MIRA】
特長
- インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
- EDS検出器との一体化により、観察に加え元素情報を即座に取得
- ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
- チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
- 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
- 低真空モード（オプション）によるチャージアップ回避
- カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能
サンプルステージの低倍観察
（サンプルナビゲーションが可能）
酸化チタンナノ粒子
はんだ合金
（左：2次電子像、右：反射電子像）
EDSがインテグレートされたユーザーインターフェース
仕様
| 電子銃 | 高輝度ショットキーエミッタ |
|---|---|
| 分解能 | 高真空モード 1.2nm at 30kV 3.5nm at 1kV ビーム減速モード 1.8nm at 1kV 低真空モード (オプション) 1.5nm at 30kV |
| 最大観察視野 | 50mm at max WD |
| 加速電圧 | 200V ～ 30kV |
| 最大プローブ電流 | 400nA |