TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

電界放出形走査電子顕微鏡 【MIRA】

新製品

TESCAN社最新鋭のMIRAは、ショットキーエミッター搭載の電子銃を採用した走査電子顕微鏡です。熱電子銃タイプのSEMと同等の使いやすさで、さらに高い分解能が得られます。インカラム検出器を含めた複数の検出器により多様な情報の取得が可能であり、またEDSのインテグレーション化により元素情報も即座に得られます。
各種材料のキャラクタリゼーションなど、サブミクロンレベルでの解析に有効です。

特長

  • インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
  • EDS検出器との一体化により、観察に加え元素情報を即座に取得
  • ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
  • チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
  • 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
  • 低真空モード(オプション)によるチャージアップ回避
  • カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能

サンプルステージの低倍観察
(サンプルナビゲーションが可能)

酸化チタンナノ粒子

はんだ合金
(左:2次電子像、右:反射電子像)

EDSがインテグレートされたユーザーインターフェース

仕様

電子銃 高輝度ショットキーエミッタ
分解能 高真空モード
  1.2nm at 30kV
  3.5nm at 1kV

ビーム減速モード
  1.8nm at 1kV

低真空モード (オプション)
  1.5nm at 30kV
最大観察視野 50mm at max WD
加速電圧 200V ~ 30kV
最大プローブ電流 400nA