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XYアライメント対応プローブ  

NANOSENSORS
XYアライメント対応プローブ  8337_ext_07_0.png
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  • 8337_ext_

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X-Yアライメントに対応したプローブは、アライメントチップと同時に使用する事で、長さの異なるプローブをSPMにセットした場合でもチップ先端の位置がほぼ同じ位置にセット可能です。

特長

■X-Yアライメント対応プローブを使用する事で、長さの異なるプローブをセットしても、プローブ先端はほぼ同じ位置になるため、レーザー位置調整に費やす時間を大幅に短縮
■アライメント精度
  - 同一プローブ取り付け時 :±2µm
  - 全対応プローブ取り付け時:±8µm
■チップ部の仕様
  - 材質:単結晶Si
  - チップ長さ:10~15μm
  - ハーフコーンアングル:30~35°(正面から見た場合)
                                     :20~25°(サイドから見た場合)
  - チップ先端曲率:10nm以下(15nm以下保証)

仕様

製品名 測定モード タイプ チップコート 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
PPP-XYNCHR ACモード 高共振周波数 - Al 7nm 125μm 42N/m 330kHz 10~15μm
PPP-XYNCSTR ACモード ソフトタップ - Al 7nm 160μm 7.4N/m 160kHz 10~15μm
PPP-XYCONTR コンタクトモード ロングレバー - Al 7nm 450μm 0.2N/m 13kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
PPP-XYNCHR-10 10 個別特性値
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PPP-XYNCHR-20 20 個別特性値
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PPP-XYNCHR-50 50 なし
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PPP-XYNCSTR-10 10 個別特性値
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PPP-XYNCSTR-20 20 個別特性値
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PPP-XYNCSTR-50 50 なし
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PPP-XYCONTR-10 10 個別特性値
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PPP-XYCONTR-20 20 個別特性値
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PPP-XYCONTR-50 50 なし
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