NANOSENSORS

PtSiプローブ 

PtSi(白金シリサイド)は抵抗率が低く、またシリコンとのコンタクト抵抗も低く、化学的に安定なのでシリコンの電極材料としてよく用いられている素材です。PtSi導電性プローブは従来のプローブのようにベースとなるSi製プローブに導電性コーティング処理をするだけでなく、プローブ先端を“シリサイド化”処理することにより、チップ先端の曲率半径低減・高耐久化に成功しました。

特長

  • 化学的に不活性
  • 曲率半径がコートプローブに比べ25%減
  • 寿命がコートプローブに比べ5-10倍に向上
  • 導電性が10倍に向上
  • 主な用途: 電気力顕微鏡(EFM)・表面電位顕微鏡・電流マッピング・圧電応答イメージ・キャパシタンス顕微鏡)
  • XYアライメント対応プローブ

仕様

製品名 測定モード タイプ チップコート 反射コート 曲率半径 カンチレバー長さ バネ定数 共振周波数 チップ高さ
PtSi-NCH ACモード 高共振 PtSi PtSi 20nm 125μm 42N/m 330kHz 10~15μm
PtSi-FM ACモード フォースモジュレーション PtSi PtSi 20nm 225μm 2.8N/m 75kHz 10~15μm
PtSi-CONT コンタクトモード ロングレバー PtSi PtSi 20nm 450μm 0.2N/m 13kHz 10~15μm
*値はティピカルです。

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
PtSi-NCH-10 10 個別特性値
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PtSi-NCH-20 20 個別特性値
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PtSi-NCH-50 50 なし
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PtSi-FM-10 10 個別特性値
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PtSi-FM-20 20 個別特性値
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PtSi-FM-50 50 なし
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PtSi-CONT-10 10 個別特性値
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PtSi-CONT-20 20 個別特性値
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PtSi-CONT-50 50 なし
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