NanoWorld AG

X-Y校正用サンプル(200nmピッチ) 

平面(X-Y)方向の校正をするためのサンプルです。

特長

  • 200nmピッチ
  • キャリブレーションオプションあり

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型番 本数 特性表  
2D200 1 オプション
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キャリブレーション・オプション

PTB によるデータ の例

NMI (German National Metrology Institute:ドイツ計量標準機関) と PTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt:ドイツ物理技術研究所) による 寸法計測標準化の手順を提供することができます。
オプション(有償)として、PTBのトレーサビリティに基づく測定方法で お客様のリファレンス・サン プルを計測し、キャリブレーション・データシートでご報告するサービスがございます。

タイプ 光学手法による キャリブレーション SPM による キャリブレーション
ピッチ・リファレンス 光学的回折法 10×10 µm エリア (1点以上可)