X-Y校正用サンプル(200nmピッチ)
特長
- 200nmピッチ
- キャリブレーションオプションあり
ラインナップ・見積依頼
| 型番 | 本数 | 特性表 | |
|---|---|---|---|
| 2D200 | 1 | オプション | 見積もりカートへ |
キャリブレーション・オプション
PTB によるデータ の例
NMI （German National Metrology Institute：ドイツ計量標準機関） と PTB （Physikalisch-Technische Bundesanstalt：ドイツ物理技術研究所） による 寸法計測標準化の手順を提供することができます。
オプション（有償）として、PTBのトレーサビリティに基づく測定方法で お客様のリファレンス・サン プルを計測し、キャリブレーション・データシートでご報告するサービスがございます。
| タイプ | 光学手法による キャリブレーション | SPM による キャリブレーション |
|---|---|---|
| ピッチ・リファレンス | 光学的回折法 | 10×10 µm エリア （1点以上可） |