X-Y校正用サンプル(200nmピッチ)
特長
- 200nmピッチ
- キャリブレーションオプションあり
ラインナップ・見積依頼
型番 | 本数 | 特性表 | |
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2D200 | 1 | オプション | 見積もりカートへ |
キャリブレーション・オプション
NMI (German National Metrology Institute:ドイツ計量標準機関) と PTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt:ドイツ物理技術研究所) による 寸法計測標準化の手順を提供することができます。
オプション(有償)として、PTBのトレーサビリティに基づく測定方法で お客様のリファレンス・サン プルを計測し、キャリブレーション・データシートでご報告するサービスがございます。
タイプ | 光学手法による キャリブレーション | SPM による キャリブレーション |
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ピッチ・リファレンス | 光学的回折法 | 10×10 µm エリア (1点以上可) |