NanoWorld AG

X-Y校正用サンプル(300nmピッチ) 

平面(X-Y)方向の校正をするためのサンプルです。

2018年4月1日以降、在庫がなくなり次第、順次販売終了とさせていただきます。ご不明の点がございましたら、弊社営業担当者にお問合せください。

特長

  • 300nmピッチ
  • キャリブレーションオプションあり

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表  
2D300 1 オプション
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キャリブレーション・オプション

PTB によるデータ の例

NMI (German National Metrology Institute:ドイツ計量標準機関) と PTB (Physikalisch-Technische Bundesanstalt:ドイツ物理技術研究所) による 寸法計測標 化の手順を提供することができます。
オプション(有償)として、PTBのトレーサビリティに基づく測定方法でお客様のリファレンス・サンプルを計測し、キャリブレーション・データシートでご報告するサービスがございます。

タイプ 光学手法による キャリブレーション SPM による キャリブレーション
ピッチ・リファレンス 光学的回折法 10×10 µm エリア (1点以上可)