OPUS4レバータイプAFM用SIプローブ
4XCｰGGシリーズは、チップ両端にそれぞれ２種類、合計4種類の異なるカンチレバーがあり、さまざまな測定モードに対応します。
カンチレバーA：コンタクトモード用
カンチレバーB：ソフトサンプルへのACモード用
カンチレバーC：標準ACモードイメージング用
カンチレバーD：高速スキャン用
先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
特長
- 4種類のカンチレバーがさまざまな測定モードに対応
カンチレバーA(500DC) ：コンタクトモード用
カンチレバーB(240AC)：ソフトサンプルへのACモード用
カンチレバーC(200AC)：標準ACモードイメージング用
カンチレバーD(65AC)：高速スキャン用
- カンチレバーおよび探針部の仕様
材質 ：nタイプSi
探針高さ：14μm(12-16)
探針角度：0°(正面) / 35°(背面) / <9°(側面)
探針曲率半径：<7nm
反射コート厚 (Al)：30nm (OPUS-3XC-NA)
仕様
| 製品名 | 測定 モード |
タイプ | 探針 コート |
反射 コート |
曲率 半径 |
カンチ レバー 長さ |
バネ 定数 |
共振 周波数 |
探針 高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 4XC-NN | コンタクトモード | ロングレバー | <7nm | 500μm(±15） | 0.3N/m (0.1-0.6) |
17kHz (11-22) |
14μm | ||
| ACモード | ソフトタッピング | 240μm(±15） | 2.5N/m (0.75-5.3) |
75kHz (50-100) |
|||||
| ACモード | 高共振周波数 | 175μm(±15） | 9N/m (2.8-021) |
150kHz (100-200) |
|||||
| 高速ACモード | 高共振周波数 | 65μm(±15) | 100N/m (35-215) |
1200kHz (650-1850) |