OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ
OPUS-200ACシリーズは、大気中でお使いいただける標準およびソフトサンプル向けのACモード用プローブです。
先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
カンチレバー背面のAl反射コートにより、レーザ反射率が向上します。
特長
- カンチレバーおよび探針部の仕様
材質 :nタイプSi
探針高さ:14μm(12-16)
探針角度:0°(正面) / 35°(背面) / <9°(側面)
探針曲率半径:<7nm
反射コート厚 (Al):30nm
仕様
製品名 | 測定 モード |
タイプ | 探針 コート |
反射 コート |
曲率 半径 |
カンチ レバー 長さ |
バネ 定数 |
共振 周波数 |
探針 高さ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
200AC-NA | ACモード | 高共振周波数 | - | - | <7nm | 200μm (±10) |
9N/m (3-22) |
135kHz (85-175) |
14μm |