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OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ 

OPUS by μmasch®
OPUS標準・ソフトタイプAFM用SIプローブ
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OPUS-200ACシリーズは、大気中でお使いいただける標準およびソフトサンプル向けのACモード用プローブです。
先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
カンチレバー背面のAl反射コートにより、レーザ反射率が向上します。

特長

■カンチレバーおよび探針部の仕様
材質  :nタイプSi
探針高さ:14μm(12-16)
探針角度:0°(正面) / 35°(背面) / <9°(側面)
探針曲率半径:<7nm
反射コート厚 (Al):30nm

仕様

製品名 測定
モード
タイプ 探針
コート
反射
コート
曲率
半径
カンチ
レバー
長さ
バネ
定数
共振
周波数
探針
高さ
200AC-NA ACモード 高共振周波数 - - <7nm 200μm
(±10)
9N/m
(3-22)
135kHz
(85-175)
14μm

ラインナップ・見積依頼

型番 本数 特性表
200AC-NA-10 10 なし
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200AC-NA-24 24 なし
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200AC-NA-50 50 なし
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200AC-NA-100 100 なし
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