NANOSENSORS

1チャンネル型 膜型表面応力センサー(SD-MSSシリーズ)

新製品

MSSは、国立研究開発法人物質・材料研究機構(以下 NIMS)国際ナノアーキテクトニクス研究拠点の吉川元起グループリーダーが考案・主要国特許を取得したものです。NanoWorld社がNIMSから特許ライセンス契約を受け、独自のMEMS技術を用い、1チャンネル型 膜型表面応力センサー(SD-MSSシリーズ)を開発、MSSを用いた各種センシング技術にご関心を持つ研究者の方々に、身近にお使いいただける研究ツールとしてご提供いたします。

特長

  • 1チャンネル/1チップ構成
  • 有機・無機など多彩な材料を感応膜として利用可能
  • 高感度(ppm~ppb)(※感応膜・測定対象ガス・測定条件などに大きく依存)
  • 超小型(最大5.5mm×2.5mm×0.3mm)
  • 高速応答(~数秒)(※感応膜・測定対象ガス・測定条件などに大きく依存)
  • 熱的/電気的/機械的に安定
  • 低消費電力(<1 mW/ch)
  • メンブレン厚:5.2μmタイプと2.5μmタイプの2種類を用意

注意∶ MSSはお買い上げの状態で直ちに特定のニオイを検出できる製品ではありません。香りやニオイ計測においては、検知対象ガス
   成分に応じて最適な感応膜材料選択とメンブレン上への塗布が必要となります。

本製品は、NanoWorld社の特別開発品リストに掲載されている製品です。
  https://www.nanosensors.com/pdf/SpecialDevelopmentsList.pdf
  特別開発品は、仕様や性能を保証するものではございません。 
  また、予告なく仕様変更・製造中止が行われることがございますので予めご了承ください。

構造と原理

1チャンネル型 膜型表面応力センサー「SD-MSSシリーズ」は、独自のMEMS技術で作製された薄さ数マイクロメートルの円形のメンブレンを、ピエゾ抵抗素子が組み込まれた4つのブリッジで支えることで、メンブレンの機械的変化を電気信号に変えます。メンブレン上に塗布された感応膜にニオイ分子が吸着すると、感応膜に応力が生じてメンブレンを変形させるため、ブリッジに埋め込まれたピエゾ抵抗素子の電気抵抗が大きく変化します。この電気抵抗の変化を計測することで、対象の分子を検知することができます。

SD-MSSは実用性の高い「嗅覚IoT」を実現するために必要な、優れた感応膜の開発やその組み合わせを見つける用途に最適です。

微小な力を測定する応用ではメンブレンに被試料を固定し、そこに例えば磁界を与えるなどして被試料に力を発生させメンブレンをたわませます。ピエゾ抵抗素子の電気抵抗値変化を測定することで発生した力の大きさを測定することができます。

実績例

  • ニオイによる化学物質のリアルタイム識別
  • 呼気によるガン患者の識別
  • 香水の識別
  • 食肉の産地別識別

仕様

型番  SD-MSS-1K  販売中止  SD-MSS-1K2G
 メンブレン直径 [μm] 1000
 メンブレン厚さ(代表値)[μm] 5.2 2.5
 チップ寸法 [mm] 5.5 x 2.0 x 0.3 5.5 x 2.5 x 0.3
 抵抗値 [kΩ] 2 ~ 15 2 ~ 6
 電気的構成 フルブリッジ、4パッド 0.5 mmピッチ
 感応膜 なし
 用途、応用 人工嗅覚システム、ニオイセンサー
磁気トルク測定、力測定など

ラインナップ/見積依頼

型番  数量/ケース  
 SD-MSS-1K  10個 販売中止
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 SD-MSS-1K2G  10個
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 MSS-8RM  1台
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ご使用上の注意

※本商品は、特別開発品として試作されたものであり、その特性及び安全性等について全てが確認されているわけではございません。取り扱いについては、慎重かつ十分な配慮を持って行っていただけますようお願い申し上げます。

※本製品は、研究開発用途として試作されたものです。本製品を使用した商品に対しては如何なる保証(性能、適合性、商品性、第三者の知的財産権に対する非侵害等を含みます。)もございません。また万一、本製品使用者と第三者の間に生じた知的財産権への侵害責任、製造物責任、その他の事項に基づく紛争、係争、損害賠償請求についても一切責任を負いませんのでご注意ください。

※本商品は、MSSフォーラムで提供されるMSS Chipとは異なりますのでご注意ください。

MSS紹介動画

Product Screencast NANOSENORS MSS (gas/odor sensing)