電界放出形走査電子顕微鏡【CLARA】

特長仕様

CLARA

TESCAN社最新鋭のCLARAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した高分解能走査型電子顕微鏡です。低加速電圧でのフィールドフリー観察が可能であり、ビーム敏感な試料や絶縁体試料、磁性体試料といった多種多様な試料に活用いただけます。
選択したビーム電流において最小のスポットサイズを得るためのパラメータをライブ制御し、観察条件変更時の作業性を向上させています。また、検出システムは電子の取り込み角やエネルギーに基づいたコントラストが得られるように設計されています。

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特長

超高分解能、フィールドフリーSEMイメージング
インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能
ミクロトームユニット搭載によるSerial block-face imaging

セラミックスナノフレークのノンコーティング観察

Li電池正極材のエネルギーフィルタリング像

加速電圧20kV、ビーム電流20nAで取得した高空間解像度EBSD マップ

ステージ上にミクロトームユニットを装着することにより
Serial block-face imagingが可能

仕様

電子銃	高輝度ショットキーエミッタ
SEMカラム	静電場・磁場複合レンズ搭載BrightBeam^TMカラム
分解能	標準モード　　0.9nm at 15kV 　　1.4nm at 1kV ビーム減速モード　　1.2nm at 1kV STEM 　　0.8nm at 30kV
最大観察視野	50mm at max WD
加速電圧	50V ～ 30kV
最大プローブ電流	400nA