TESCAN ORSAY HOLDING, a.s.

電界放出形走査電子顕微鏡 【CLARA】

新製品

TESCAN社最新鋭のCLARAは、ショットキー電界放出形電子銃を搭載した高分解能走査型電子顕微鏡です。低加速電圧でのフィールドフリー観察が可能であり、ビーム敏感な試料や絶縁体試料、磁性体試料といった多種多様な試料に活用いただけます。
選択したビーム電流において最小のスポットサイズを得るためのパラメータをライブ制御し、観察条件変更時の作業性を向上させています。また、検出システムは電子の取り込み角やエネルギーに基づいたコントラストが得られるように設計されています。

特長

  • 超高分解能、フィールドフリーSEMイメージング
  • インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
  • ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
  • チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
  • 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
  • カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能
  • ミクロトームユニット搭載によるSerial block-face imaging

セラミックスナノフレークのノンコーティング観察

Li電池正極材のエネルギーフィルタリング像
 

加速電圧20kV、ビーム電流20nAで取得した高空間解像度EBSD マップ

ステージ上にミクロトームユニットを装着することにより
Serial block-face imagingが可能

仕様

電子銃 高輝度ショットキーエミッタ
SEMカラム 静電場・磁場複合レンズ搭載BrightBeamTMカラム
分解能 標準モード
  0.9nm at 15kV
  1.4nm at 1kV

ビーム減速モード
  1.2nm at 1kV

STEM
  0.8nm at 30kV
最大観察視野 50mm at max WD
加速電圧 50V ~ 30kV
最大プローブ電流 400nA