OPUS標準AFM用SIプローブ
OPUS-160ACシリーズは大気中 標準ACモード用プローブです。
先鋭な先端、化学的不活性、高Q値の設計となっています。
四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
金属コート無(OPUS-160AC-NN)/Al反射コート(OPUS-160AC-NA)/Au反射コート(OPUS-160AC-NG)のタイプがあります。
特長
- カンチレバーおよび探針部の仕様
材質 :nタイプSi
探針高さ:14μm(12-16)
探針角度:0°(正面) / 35°(背面) / <9°(側面)
探針曲率半径:<7nm
反射コート厚 (Al):30nm (OPUS-160AC-NA)
(Au):70nm (OPUS-160AC-NG)
仕様
製品名 | 測定 モード |
タイプ | 探針 コート |
反射 コート |
曲率 半径 |
カンチ レバー 長さ |
バネ 定数 |
共振 周波数 |
探針 高さ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
160AC-NN | ACモード | 高共振周波数 | - | - | <7nm | 160μm (±10) |
26N/m (8-57) |
300kHz (200-400) |
14μm |
160AC-NA | ACモード | 高共振周波数 | - | Al | <7nm | 160μm (±10) |
26N/m (8-57) |
1200kHz (650-1850) |
14μm |