薄膜硬度計 iMicro-A
特長
- マイクロビッカースでは測定不可能な薄膜の硬度計
- 数mNレベルの低荷重押込み試験が可能
- ロックウェルと同様に圧痕観察が不要
- 自動測定に対応
- 作業者の個人差によるバラツキの低減
- ISO14577に準拠した国際標準硬度計
仕様
変位計測 ： キャパシタンスゲージ
変位レンジ ： 80ミクロン
変位分解能 ： 0.04nm （電気的）
ティピカルノイズ： <0.25nm
荷重印加 ： 電磁コイル
最大荷重 ： 1N (100gf)
荷重分解能 ： 6nN
システム構成
- iMicro型ガントリー本体
- InQuestコントローラ
- 制御用PC
- 液晶ディスプレイ
- InViewソフトウェア
アプリケーション
- 自動車部品のDLC薄膜
- 自動車鋼板のメッキ膜
- 自動車の塗装膜
- 成型プレス金型の表面処理
- 樹脂表面のハードコート膜
- ゴム・タイヤの表面劣化
事例紹介
金属材料(SUJ2)上に堆積させたDLC薄膜(1ミクロン）の硬度測定例。
左）押込み時の荷重とその時の押込み深さを測定し、このカーブを解析して硬度・ヤング率を求める。
右）測定された硬度・ヤング率。2種のDLCで硬度・ヤング率の違いが分かる。
測定時の最大荷重は10mN(1gf)。押込み深さは100～200nm。