ナノイメージング
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KLA Corporation

KLA社は2018年にナノインデンテーション装置の世界的リーディングカンパニーであるNanomechanics社を買収しました。ナノメカニクス社は2009年にWarren Oliver博士により設立され、アカデミック分野、研究分野、産業界に及ぶ幅広いアプリケーションに対応可能なナノインデンテーション装置を設計・製造・販売してきました。

  • iNano 高分解能 薄膜機械的特性評価装置
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    iNano 超高分解能 薄膜機械的特性評価装置
    KLA Corporation

    iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。

  • デモ・受託分析対応

    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置
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    iMicro 高性能 薄膜機械的特性評価装置
    KLA Corporation

    iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

  • デモ・受託分析 対応

    Nano Indenter G200
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    Nano Indenter G200
    KLA Corporation

    Nano Indenter G200は、バルク材料やミクロンオーダー厚の薄膜は勿論、従来困難であったサブミクロン厚の薄膜まで硬度・ヤング率評価を高精度で測定可能です。計装化押し込み試験の規格、ISO14577-1,2,3 に完全準拠した、まさに標準機と評価される製品です。高速インデンテーションを用いた硬さ・ヤング率の2次元定量イメージングにも対応します。

  • NanoFlip 顕微鏡組み込み型ナノインデンター
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    NanoFlip 顕微鏡組み込み型ナノインデンター
    KLA Corporation

    NanoFlipは各種光学顕微鏡やAFMなどの既存のイメージング装置に搭載して、イメージング&機械特性評価を実現する新しいタイプのナノインデンターです。

  • In-SEM インデンター
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    In-SEM インデンター
    KLA Corporation

    Nano Indenterシステムは、試験荷重と押し込み深さの計測値から試料の微小領域における機械特性を算出することができます。

  • 薄膜硬度計 iMicro-A
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    薄膜硬度計 iMicro-A
    KLA Corporation

    マイクロビッカースでは測定困難な薄膜の硬度測定を行うために設計され、マイクロビッカースとナノインデンターの間の領域を埋め合わせることができる、新しいレンジの硬度計です。

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