iMicro 薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

iNanoは、極低荷重を高精度かつ安定に発生させるInForce50型押込みヘッドを搭載、ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂などのソフトマテリアルの薄膜の硬度・ヤング率を測定できます。さらに動的押込み試験による硬度・ヤング率の深さプロファイル測定やナノスケールの動的粘弾性測定、硬度・ヤング率の3次元イメージングなど、多機能な薄膜機械特性評価装置です。

G200X ハイエンド薄膜機械的特性評価装置は、最大1N(約100gf)の荷重を発生できる、マイクロインデンターとナノインデンターの間の領域をカバーする、新しいレンジのナノインデンターです。InForce1000とInForce50の両ヘッドを付け替え可能で、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速3D/4Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能です。

NanoFlipは各種光学顕微鏡やAFMなどの既存のイメージング装置に搭載して、イメージング＆機械特性評価を実現する新しいタイプのナノインデンターです。Geminiオプションにより2軸測定が可能となり、ナノスケールでのトライボロジー特性評価を実現しました。

In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。