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低加速FE-SEMを用いたコンタミの可視化

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  • デモ・受託分析 対応

    分析用高分解能FE-SEM 【MERLIN】
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    分析用高分解能FE-SEM 【MERLIN】
    Carl Zeiss Microscopy GmbH

    MERLINは圧倒的な低加速電圧・高コントラストの機能に加え、さらなる高分解化を実現したFE-SEM です。最大300nA までの大電流オプションも選べ、高分解能観察からEDS、WDS、EBSD 等の分析まで、モード切替を行うことなく実行できます。

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