カーボンナノチューブ成長用触媒

米国ウィスコンシン大学 Eriksson and Lagally 研究グループでは、触媒のスポットを µm スケールで吐出し、材料表面の特定の位置にカーボンナノチューブを直接成長させる目的で、Microprolotter システムを使用しています。

カーボンナノチューブは炭素の単原子厚のシートとして構成され、数 nm 幅のチューブとして形成されます。 特別な触媒材料上に炭素を多く含むガスを高温で吹きつけると、カーボンナノチューブが成長します。

電子技術アプリケーションや研究では、特定の位置にカーボンナノチューブを成長や配置できることが求められ、例えば電極間に架橋をする用途などに応用できます

触媒のスポットをパターン化するには、通常は半導体のフォトリソグラフィ技術を用いますが、高価なマスク、装置、設備を要する上に、完成するまでの日数もかかってしまいます。
Microplotter を用いると、触媒溶液を吐出してできるスポットは 5 µm というサイズが実現できます。 触媒の直接吐出は高速で、カーボンナノチューブを成長させる試料を用いる前にクリーンルームで作業する必要もありません。

新しい設計方法によって、フォトリソグラフィ技術によるマスクを製作する必要もなく、迅速に描画してテストすることができます。 これによって、電子回路上でカーボンナノチューブを成長させて、電気的特性を調べることが可能になります。


カーボンナノチューブ成長用触媒 5µm幅スポット


電極間に架橋されたカーボンナノチューブ

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