機械制御/振動騒音
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ナノインデンター・システム - 薄膜機械的特性評価

●基本システム    印はオプション機能)


外観 g200_system.gif xpw_system.gif
名称 Nano Indenter G200 Nano Indenter G300
特長 ISO 14577 Part 1,2,3 完全準拠
高い再現性と信頼性!
シリコンウェハを非破壊で測定
大型サンプルに対応!
サンプル面積 100×100 mm 225×300 mm
押し込みヘッド 標準ヘッド DCM-Ⅱヘッド 標準ヘッド DCM-Ⅱヘッド
最大荷重 500 mN ※1 30 mN 500 mN ※1 30 mN
押し込み制御分解能 0.01 nm 0.0002 nm 0.01 nm 0.0002 nm
最大押し込み深さ > 500 µm > 70 µm > 500 µm > 70 µm
ISO 14577-1,2,3 準拠
連続剛性測定法 (CSM)
ラテラルフォース測定 (LFM)
Nano Vision
高荷重オプション
リニアオプティカルエンコーダ
真空チャック
温度チャンバー
加熱ステージ (350℃)
マイナスK防振台 標準装備 標準装備
キャビネット 標準装備 標準装備
ソフトウェア NanoSuite NanoSuite
※1 高荷重オプション使用時: 10 N

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