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不純物粒子解析

2017/04/21

SEMを用いて不純物粒子の自動計測・分析を行います。この手法はISO16232に準拠しています。


フィルターに集塵した異物などの不純粒子を自動で検出し、それぞの粒子に対して分析を実行します。粒子サイズと化学組成情報によるクラス分けと個数をカウントします。 また、ISO16232に準拠した報告書を自動で作成します。一連の操作はレシピを組むことで簡単に行なえます。自動測定後に、レビュー機能を用いてそれぞの粒子に対し詳細解析も行えます。


5um~1000umサイズの粒子に対応します。事前に設定していた条件に従い、自動でクラス分けを行います。測定時間は粒子の個数に依存します。上図の場合、約17,000個の粒子検出を2時間で行っています。


各粒子のSEM像とEDS分析結果も自動保存されており、自動測定後の個別データを確認することができます。

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