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高精度インピーダンス/LCRメータ 6400Bシリーズ  

Wayne Kerr Electronics Ltd.
高精度インピーダンス/LCRメータ 6400Bシリーズ 
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高確度:0.02%(インピーダンスZ)
誘電体、半導体、磁性材料の計測に

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
TEL:03-3245-1103
Email:keisoku[at]toyo.co.jp
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特長

・基本確度:0.02%(インピーダンスZ)
      0.0002(損失ファクター D)
・測定周波数:20Hz~3MHz(@6440B)
       20Hz~500kHz(@6430B)
・測定測定パラメータ:L, C, Rac, D, Q, G, B, X, Y, Z, θ, Rdc
・最大±60V外部DCバイアス対応(内部バイアス:2V)
・最高20回/Secの高速測定
・GPIBGPIB標準装備
・制御ソフトウェアWITT-64によりデータを収集が容易

6440B/6430B型は、測定確度:±0.02%(@インピーダンス)の高精度LCRメータです。
誘電体、半導体、磁性材料等の計測・評価に威力を発揮します。
測定周波数範囲により6440B(3MHz上限)、6430B(500kHz上限)の2機種あり、用途に応じた選択が出来ます。
東陽テクニカ社製の計測・制御ソフトウェア:WITT-64を使用すると、周波数スイープ、連続測定の制御とPCへのデータの収集が容易に行えます。
 
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■6440B型、6430B型 測定モード

・最高3MHz測定周波数
6440B型の測定周波数は20Hz~3MHz、6430B型は20Hz~500kHzです。周波数ステップは1800以上(@6440B)と非常に細かいため、共振周波数の特定が正確に行えます。
 
・フレキシブルなDCバイアス電圧の対応
6440B/6430B型は、内部に2V固定のDC電源を装備しており、サンプルに印加、測定ができます。また別途外部電源を併用することで、最 大±60VのDCバイアスを印加することができます。半導体のC-V測定や電界強度が高い条件下での絶縁膜の劣化評価に最適です。
 
・グラフモード機能(6440B型のみ)
6440B型は上限3MHzまで周波数スイープを行い、測定結果をリアルタイムに横軸周波数vs縦軸測定パラメータのグラフ表示ができます。このため直感 的なサンプルの周波数特性評価が可能です。例えばインピーダンスと位相のような、メジャー/マイナーパラメータをトグル操作で交互に表示でき、縦軸、横軸 ともにリニア/対数スケールの選択可能です。この機能により、共振周波数の特定も容易に行えます。

・MAX/MIN,カーソル測定機能(6440B型のみ)
グラフ表示でFITキーを押すと自動的に縦軸がスケーリングされ最適な表示が行えます。そしてナビゲーションキーを使用すると、グラフ上のどのポイントにもマーカを位置付けられます。
またMAX/MINキーを使えば、マーカをグラフ上の極大もしくは極小の位置におけます。マーカの座標は、ディスプレイ下段に、縦軸の値(選択したファンクションの値)、マイナー項、そして周波数として数値表示されます。

・マルチ周波数モード
測定ファンクション、8つまでの試験周波数や、各周波数に対する異なるリミット値を設定できるモードです。各周波数においる測定値とPASS/FAILをディスプレイでき、複数の周波数に対する測定サンプルの特性を素早く評価出来ます。
 

アプリケーション

■ セラミックや高分子材料の誘電率
■ BaTiO3、 TiO2、 PZT、トナー材料
■ 圧電体材料評価
■ 共振周波数の測定
■ 電子部品のC、ESR測定
■ 半導体C-V測定
■ MOS-FET等、異種半導体間の界面効果の評価
■ フェライト材料等磁性材料の周波数依存性評価
■ 高分子材料等、多成分系試料の成分分析

製品一覧表

■インピーダンスアナライザ/LCR メータ 製品一覧表
6500B
シリーズ
6500P
シリーズ
6440B型 6430B型 41100型 3260B型
AC パラメータ R,C,L,D,Q,Zθ,B,G,X,Y  R,C,L,D,Q,Z,巻線比,
リークインダクタ
DC 抵抗 ○  ○  ○  ○ 
周波数範囲 20Hz ~120MHz
(65120B/P)
20Hz~3MHz  20Hz~500kHz  20Hz~1MHz  20Hz~3MHz 
20Hz~50MHz (6550B/P) 
20Hz~30MHz (6530B/P) 
20Hz~20MHz (6520B/P) 
20Hz~15MHz (6515B/P) 
20Hz~10MHz (6510B/P) 
20Hz~5MHz
(6505B/P) 
周波数ステップ 0.1mHz 1800ステップ 1000ステップ 737ステップ 1800ステップ
AC ドライブ 10mV~1Vrms
200μA ~0.2Arms 
1mV~10Vrms
50μA~0.2Arms 
10mHz~2Vrms  1mV ~10Vrms
50μA ~0.2Arms 
DC バイアス 内部(D2オプション):±40V 内部:+2V
外部± 60V 
内部:+2V
外部:±40V 
50A(3265Q:~3MHz)
外部(D1オプション):+40V、+0.1A 200A(3265B:~1MHz) 
基本確度 0.05% 0.02% 0.1% 0.1%
測定スピード 60msec 50msec 72msec 50msec
グラフモード
リモートコントロール GPIB, USB GPIB GPIB, USB GPIB
PC 制御ソフトウェア WITNESS-6000 MescoView

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