Instec, Inc.(インステック / USA)

ホット&コールド温度制御 簡易プローバー HCPx22GP/HCPx22VP

プロービング針を4本搭載した 標準タイプの加熱冷却 簡易プローバーシステムです。
130mm×180mm×26mmとコンパクトな形状のため、様々な測定系に組み合わせることが可能です。
また、最大-190℃~600℃の温度範囲を1台で制御可能で、試料の電気、光学特性の温度依存性評価に最適なシステムです。

株式会社東陽テクニカ 理化学計測部
phone03-3245-1103
Mail:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

-190℃~600℃ の温度範囲を 1台で制御可能
冷却&加熱 簡易プローバーシステム
試料の電気、光学特性の温度依存性評価などに最適

  • 広い温度制御範囲
    ガスタイトモデル HCPx22GP :-190℃~600℃
    真空タイトモデル HCPx22VP :-190℃~400℃
  • 位置決めが容易な 4本のタングステンレニウム(レ二タン)プローブ
    コネクタ: BNC(標準)/ トライアキシャル(オプション)
  • 用途に応じて選択可能な多彩なラインナップ
    サンプルチャンバー内の雰囲気制御は ガスタイト(標準)/ 真空対応(オプション)
    サンプルステージのフローティング可能(オプション)
    バックゲート電圧印加用端子(オプション)
    反射/透過窓の追加可能(オプション)

システム

  • 温度制御 簡易プローバ本体
    HCP222GP/VP-mK2000:室温~200℃
    HCP422GP/VP-mK2000:室温~400℃
    HCP622GP-mK2000:室温~600℃
  • 液体窒素冷却オプション
    LN2-P4JD2  :冷却 -140℃~ ( 2Lデュアー)
    LN2-P4JD10:冷却 -140℃~ (10Lデュアー)
    LN2-P8JD2  :冷却 -190℃~ ( 2Lデュアー)
    LN2-P8JD10:冷却 -180℃~ (10Lデュアー)
  • 光学観察/測定用 冷却加熱ステージ 比較/一覧表は こちら⇒

仕様

  • 温度制御
    温度範囲    : 最大-190℃~600℃ ※モデルによって異なります。
    温度分解能   :0.01℃
    温度安定度   :±0.1℃ (typ) at 100℃ 
    最小加熱冷却速度 :±0.1℃/hour
    最大加熱速度  :+180℃/minute at 100℃ (typ)
    最大冷却測定  :-60℃/minute at 100℃ (typ)
    温度制御手法  :スイッチングPID
    温度制御用センサー:白金抵抗温度センサー
  • ステージ構造
    プローブ搭載数 :4本
    プローブタイプ :スプリング式(タングステンレニウム)
    サンプルステージ :35mm×35mm(Grounded)
    チャンバー高さ :8.7mm ※設置可能なサンプル厚みは標準で最大2mmとなります。
    透過/反射窓径  :無し  ※オプションにて追加可能 透過φ26.5mm/反射φ2mm
    真空ポート  :KF16  ※真空オプション追加時に搭載

システム構成

  HCP222GP/VP-mK2000:室温~200℃
HCP422GP/VP-mK2000:室温~400℃
HCP622GP-mK2000:室温~600℃
液体窒素冷却オプション 無し LN2-
P4JD2
LN2-
P4JD10
LN2-
P8JD2
LN2-
P8JD10
冷却温度範囲 自然冷却
(注)
-140℃~ -140℃~ -190℃~ -180℃~
プローバー本体
mK2000 温度コントローラ
フレーム冷却用ウォーターポンプ
液体窒素フロー用ポンプ ×
液体窒素用デュワー × 2L 10L 2L 10L
真空オプション
ステージフローティングオプション
反射/透過窓追加オプション
●標準構成、△本体発注時オプション、○後付可能オプション
(注) 冷却に時間を要します。温度安定度の仕様を満たしません。

比較表