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FCE-RET型 リテンション特性評価システム(製造終了) 

東陽テクニカ(強誘電体評価)
FCE-RET型 リテンション特性評価システム(製造終了)
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東陽テクニカでは、高速広帯域バーチャルグランドQV変換器及び立上り時間2.5nsecのPUNDパルスジェネレータを開発しました。
これにより、20nsec パルス幅PUNDパルスによる分極波形を正確に収録する事ができ、さらにパラメータ算出も行える様にシステムを開発しました。
また、測定系はインピーダンスマッチングを考慮して設計されていますので、きれいな高速パルスの印加、測定ができます。

※この製品は製造終了しました。

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
TEL:03-3245-1103
Email:keisoku[at]toyo.co.jp
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特長

サンプルに実波形に近い高速パルスを印加
ON 状態OFF 状態を決定するパルス列(初期化パルス列)は、最小パルス幅20nsec(FCE-RET10 型、20 型)と高速です。実波形に近いパルス列を印加できます(FCE-RET11/21 型は、20us)。
高速パルス列印加時50Ωインピーダンスマッチングを考慮
本システムでは、波形発生器側・グランド側に対し50 Ωインピーダンスマッチングを考慮しています。
これにより初期化パルスのリンギングを無くし、サンプル2 次側のグラウンドが変化しないようにしています。
これにより振幅も正しく印加されます。
測定中は、ドレイン電流測定の場合はゲート電圧、容量測定の場合はLCRメータの測定信号にDC電圧を重畳しサンプルに印加することができます。
サンプルに高速初期化パルス列印加した後は、DC 電圧源に切り替え安定したDC 電圧(安定度0.01%)をLCR メータのサイン波に重畳してサンプルに印加できます。事前に測定したフラットバンド電圧を測定中印加し続けることができます。
電流測定はエレクトロメータで、容量測定はLCRメータで測定を行います。
ドレイン電流は、エレクトロメータ(測定分解能0.1fA)を使用して測定しますのでゲートOFF 時も正確に測定できます。容量測定は、LCR メータを使用し、測定の最小レンジは1fF と高分解能です。
測定は、時間に対する電流変化、容量変化を測定してゆきます。
測定は、時間に対する容量の変化を測定していきます。時間軸は、リニアとログを設定できます。測定間隔は、それぞれの時間軸について設定します。
 
測定は、ON状態とOFF状態を連続して測定するバイポーラモードもあります。

アプリケーション

1TrFeRAMのリテンション特性測定
FET型(1Tr 型)強誘電体メモリのリテンション特性(データ保持特性)を評価するシステムです。

・2 端子サンプルの容量対時間特性評価& CV 特性評価
・3 端子サンプルのドレイン電流対時間特性評価
・ゲートへの書き込み/消去パルス列の最小パルス幅は20nsec
・上記は任意のパルス列が印加可能
・計測系はインピーダンスマッチングを考慮 

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