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FCE-HS1/2 型 高速特性評価システム(製造終了) 

東陽テクニカ(強誘電体評価)
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東陽テクニカでは、高速広帯域バーチャルグランドQV変換器及び立上り時間2.5nsecのPUNDパルスジェネレータを開発しました。
これにより、20nsec パルス幅PUNDパルスによる分極波形を正確に収録する事ができ、さらにパラメータ算出も行える様にシステムを開発しました。測定系はインピーダンスマッチングを考慮して設計されていますので、きれいな高速パルスの印加、測定ができます。

※この製品は製造終了しました

(株)東陽テクニカ 理化学計測部
tel:03-3245-1103
e-mail:keisoku[at]toyo.co.jp
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特長

FCE-HS型 測定項目
 
1.PUNDパルス分極測定
  ・印加波形:4 連続パルス
  ・振幅:~± 5V、4 パルス同振幅が基本。
     +/+/-/-極性
  ・パルス幅:20nsec(< @10pF)~ 2550nsec
2.PUNDパルス分極・自動飽和測定
主な仕様は上記に同じ
  ・ 飽和特性グラフと全測定波形の重書きグラフを同時表示
3.分極疲労/ インプリント測定
  ・疲労波形:12.5MHz(< @10nF)、± 5V 矩形波、DC
  ・ 疲労/インプリント特性グラフと全測定ヒステリシス波形重書グラフ表示
4.リテンション測定
  ・ リテンション特性グラフと全測定ヒステリシス波形重書グラフ表示
5.分極ヒステリシス測定(FCE-HS2)
  ・印加電圧:± 16V
  ・周波数:1kHz ~ 10MHz、
  ・測定電荷レンジ :0.1pC ~ 1nC、分解能:1fC(計算値)
6.分極ヒステリシス飽和特性自動測定(FCE-HS2)
  ・分極ヒステリシス測定の印加電圧を自動変化。
  ・飽和特性グラフと全測定波形の重書きグラフを同時表示
立ち上がり2.5nsec、パルス幅20nsecの高速PUNDパルスジェネレータ&広帯域QVアンプを開発。
 
FeRAM 実パルスに近い高速PUND パルスによる応答分極波形を収録し表示する事ができます。
収録した分極波形を観測しながらパラメータを算出できるので正確なパラメータ測定ができます。
測定系のインピーダンス・マッチング、グラウンディングを考慮
反射による波形の乱れが無く、再現性の高い測定を実現
疲労測定、リテンション測定
測定した全てのPUND パルス分極波形と疲労特性グラフを同時表示
高速波形発生器と組合せ、10MHZヒステリシス測定が可能(FCE-HS2型)
ケーブル長の違いによる測定信号の位相差を補正し、安定した測定ができます。
オートプローバソフトウエア・オプションも準備。
実パルスに近い波形でのプロセス評価も可能
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アプリケーション

FeRAM(DRAMタイプ)の高速波形分極特性評価
  • 広帯域QV 変換器を開発。初めて高速分極波形測定を実現。
  • 広帯域QV 変換器を装備したFCE-HS型にて以下を評価

     最小パルス幅20nsecPUND パルス分極測定
     最高周波数10MHz での分極ヒステリシス測定
     上記2 種の自動飽和特性評価
     パルス列分極特性評価
     分極ヒステリシス周波数依存所銅測定
     
  • 計測系のインピーダンスマッチングを考慮
  • プロービング部分のグラウンディングを配慮
  • 1MHz 以上の分極ヒステリシス測定では、電圧測定と電荷測定の位相差を補正
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