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SkyScan 2011 |
ナノX線CTスキャナ (nano-CT) |
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| SkyScan 2011 ナノX線CTスキャナ (nano-CT)は、世界で初めて150nmの空間分解能を実現したX線CTスキャナ・システムです。 |
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| 微小電子部品、生体材料、ポリマーなどの内部構造を、nmのオーダーで観察することができます。 |
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| ★特長 |
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| ◇ |
高空間分解能： 150 nm |
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マルチノード方式による高速なデータ再構成を実現 |
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カーボンファイバーのCTイメージ
0.15µmの繊維が観察されています |
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| ◆主な仕様 |
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| ピクセル当りの最大検出分解能 |
150 nm |
| 低コントラスト分解能 (10％ MTF) |
400 nm |
| X線源 |
エネルギー： 20～80 kV、 100～200 µA |
| X線検出器 |
1.3Mピクセル (1280×1024) ／ イメージ・インテンシファイア付き 12ビットCCD |
| 搭載可能サンプルサイズ |
0.5～1 mm (150 nm 分解能)
11 mm (9 µm 分解能) |
| サンプル・ステージ |
スキャン回転中の精度： ＜ 100 nm |
| ソフトウェア (標準) |
再構成ソフト： NRecon、 数値解析ソフト： CTAn、
3次元サーフェースレンダリングソフト： CTVol |
| スキャンシステム |
サンプル回転型、 線源固定型 |
| 再構成アルゴリズム |
改造Feldkamp式、 コーンビーム法 |
| 漏洩線量 |
装置表面において、平均線量 1 µSv/h 以下 |
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