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Micro-CT In SEM |
マイクロX線CT SEMアタッチメント |
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SkyScan Micro-CT In SEM マイクロX線CT SEMアタッチメントは、どのようなSEMに対しても、SEMの持つ標準のイメージング・モードを犠牲にすることなく、3Dイメージング・モダリティを付加することができるモジュールから構成されています。 |
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| ★特長 |
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SEMの構成にどのような変更も加えずに使用可能 |
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ピクセル分解能 350nmの高分解能測定 |
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特別な試料準備をせずに、試料の真の3D内部構造の観察と測長が可能 |
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木片の再構成断面データ
分解能： 1.2 µm/pixel |
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| ◆主な仕様 |
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| ピクセル当りの最大検出分解能 |
350 nm |
| 低コントラスト分解能 (10％ MTF) |
800 nm (JSM 7000 SEM使用の場合) |
| X線ターゲット |
真鍮 (8～9 keV) ユーザ選定 |
| X線検出器 |
空冷、 ベリリウム窓付き 背面照射型CCD |
| 最大サンプルサイズ |
直径： 4 mm、 高さ： 10 mm |
| サンプル・ステージ |
ローテーション最少ステップ： 0.45 ° |
| オブジェクト・マニピュレータ |
ズームステージ フィードバック・センサ付き |
| ステージ・コントローラ |
マイクロプロセッサ内蔵コントローラ |
| ソフトウェア (標準) |
再構成ソフト： NRecon、 数値解析ソフト： CTAn、
3次元サーフェースレンダリングソフト： CTVol |
| スキャンシステム |
サンプル回転型、 ターゲット固定型 |
| ビーム電流 |
1×10-7 ～ 1×10-9 A |
| 再構成アルゴリズム |
改造Feldkamp式、 コーンビーム法 |
| 取付スペース |
SEMチャンバのいずれかのフランジ 直径： 65mm |
| 漏洩線量 |
装置表面において、平均線量 1 µSv/h 以下 |
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