FE-SEM,AFM,SPM,デジタル顕微鏡,カンチレバー,硬度計,CTスキャナ
 
分析システム営業部では、マイクロスコピック・アナリシスに特化
したユニークかつパワフルな分析機器をご提供しております。
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  SSS (スーパーシャープシリコン) プローブ 微小形状やマイクロラフネスの測定に  
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ナノワールド(NanoWorld)／ナノセンサーズ(NANOSENSORS)社製の SSS(スーパーシャープシリコン)シリーズ は、チップ先端を曲率半径 5nm以下に加工したプローブです。
ノンコンタクトモードでの測定にご使用いただけます。
特に高い分解能が要求される微小形状やマイクロラフネスの測定には、 SSSシリーズのプローブをお勧めします。
【仕様】
・ チップ先端の曲率半径はティピカル値2nm、保証値5nm以下
 　　　(保証歩留まり 80%)
・ チップ先端200nm以上の部分ではハーフコーンアングル10°
ノンコンタクトモード 高共振周波数タイプ
テクニカルデータ 値 レンジ
厚さ [µm] 4.0 3.5～4.5
カンチレバー形状 [µm] W＝30
L＝125		 25～35
120～130
バネ定数 [N/m] 42 21～78
共振周波数 [kHz] 320 250～390
ノーマル 背面Alコート 数量
SSS-NCH-10 SSS-NCHR-10 10
SSS-NCH-20 SSS-NCHR-20 20
SSS-NCH-50 SSS-NCHR-50 50
SSS-NCH-W SSS-NCHR-W 380
ノンコンタクトモード 低共振周波数タイプ
テクニカルデータ 値 レンジ
厚さ [µm] 7.0 6.5～7.5
カンチレバー形状 [µm] W＝38
L＝225		 33～43
220～230
バネ定数 [N/m] 48 31～71
共振周波数 [kHz] 190 160～210
ノーマル 背面Alコート 数量
SSS-NCL-10 SSS-NCLR-10 10
SSS-NCL-20 SSS-NCLR-20 20
SSS-NCL-50 SSS-NCLR-50 50
SSS-NCL-W SSS-NCLR-W 380